廣州市廣豐水泵實(shí)業(yè)有限公司
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閱讀：64發(fā)布時(shí)間：2025-9-8
真空泵是根據(jù)一定的工作原理，用于產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境，是直接影響真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的重要設(shè)備。在醫(yī)藥、化工、食品、電子等下業(yè)中，真空泵得到了廣泛的應(yīng)用，其需求量很大。一般真空范圍可分為三個(gè)級(jí)別：1、粗低真空，氣壓760~10~3 Torr，主要用于食品、化工、輕工、制藥等行業(yè)。2、高真空，主要用于集成電路、半導(dǎo)體制造及各種鍍膜工藝、各種表面處理工藝、離子注入等。3超高真空，主要用于材料科學(xué)分析、物理現(xiàn)象研究、表面分析高純材料制備等。
的真空市場(chǎng)規(guī)模在2019年達(dá)到了45.4億歐元，其中半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用占據(jù)了真空市場(chǎng)的份額。據(jù)國(guó)際真空技術(shù)統(tǒng)計(jì)工作組(ISVT)的分類和統(tǒng)計(jì)，2017年-2019年真空市場(chǎng)規(guī)模為44.9、48.8、45.4億歐元，市場(chǎng)規(guī)模相對(duì)穩(wěn)定，其中半導(dǎo)體需求約占37%,2019年半導(dǎo)體真空市場(chǎng)需求約占17.3億歐元。
相關(guān)報(bào)告來(lái)源：北京諾拓信息咨詢有限公司《真空泵行業(yè)市場(chǎng)調(diào)研分析及投資預(yù)測(cè)研究報(bào)告》
資料來(lái)源：諾拓項(xiàng)目分析。
半導(dǎo)體行業(yè)是真空泵的重要應(yīng)用領(lǐng)域，也是目前真空泵增長(zhǎng)的主要?jiǎng)恿Α，F(xiàn)在真空泵已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的許多工藝環(huán)節(jié)，如刻蝕，鍍膜，擴(kuò)散等。要使制造工藝控制在更小的尺寸，越來(lái)越多的半導(dǎo)體制造工藝步驟需要具有更高的精確度和均勻性。要達(dá)到這個(gè)目的，半導(dǎo)體工藝必須在一個(gè)可控的真空環(huán)境中進(jìn)行。在半導(dǎo)體制造中，工藝步驟的數(shù)量會(huì)隨著功能和電路尺寸的減小而不斷增加，從而導(dǎo)致對(duì)真空設(shè)備需求的增加。另外，小型化需要新的制造技術(shù)，這將促使半導(dǎo)體制造商采用真空系統(tǒng)。
2017年至2020年期間，半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)銷售總額為566/645/598/689億美元，結(jié)合前面提到的半導(dǎo)體真空市場(chǎng)規(guī)模，真空泵占同期半導(dǎo)體設(shè)備銷售總額的3%~4%。此外，真空泵還需要定期維護(hù)，服務(wù)市場(chǎng)也是重要組成部分，如Altas公司的真空部門每年服務(wù)收入占該部門總收入的25%。預(yù)計(jì)到2025年，半導(dǎo)體真空泵的設(shè)備與服務(wù)的市場(chǎng)規(guī)模約217億元，其中設(shè)備需求市場(chǎng)規(guī)模約162億元，服務(wù)需求市場(chǎng)規(guī)模約54億元。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體真空泵設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模約43億元，若加上服務(wù)的需求，則同時(shí)期設(shè)備及服務(wù)的總體市場(chǎng)規(guī)模57億元，未來(lái)5年復(fù)合增長(zhǎng)率為7.5%，保持穩(wěn)定增長(zhǎng)。
圖 半導(dǎo)體設(shè)備銷售額（億美元）
碳中和目標(biāo)下，太陽(yáng)能組件價(jià)格大幅下跌，導(dǎo)致光伏電站投資成本降低，光伏裝機(jī)需求確定性強(qiáng)，經(jīng)濟(jì)性顯現(xiàn)。太陽(yáng)電池的一些生產(chǎn)工藝類似于半導(dǎo)體，包括拉晶，鍍膜等，也會(huì)使用干式真空泵。在光伏產(chǎn)業(yè)鏈中，干式真空泵可應(yīng)用于硅片拉晶環(huán)節(jié)、電池片鈍化膜環(huán)節(jié)(PECVD/ALD設(shè)備)、組件層壓環(huán)節(jié)等。據(jù)捷佳偉創(chuàng)的招股說(shuō)明書顯示，以其 PECVD設(shè)備為例，在 PECVD設(shè)備中，成本所占比重的部件是干式真空泵，2015-2017年，干式真空泵的價(jià)值占PECVD設(shè)備價(jià)值的11.4%/12.2%/12.7%。
據(jù)中科儀的招股說(shuō)明書顯示，晶體生長(zhǎng)和硅片生產(chǎn)每GW需要約200臺(tái)干式真空泵，單臺(tái)價(jià)格約7萬(wàn)元，同時(shí)假定真空泵使用壽命為10年，每臺(tái)真空泵每年需維護(hù)費(fèi)3萬(wàn)元。從而可以估算出2022年硅片環(huán)節(jié)真空泵設(shè)備及保養(yǎng)所需的規(guī)模約為35.6億元。同時(shí)，2022年拉晶環(huán)節(jié)對(duì)真空泵新設(shè)備需求的規(guī)模約為14.5億元。在考慮到真空泵更新和真空泵維保的費(fèi)用后，2022年設(shè)備和維保的市場(chǎng)規(guī)模為35.6億元，復(fù)合增長(zhǎng)率約25.5%，保持了高速增長(zhǎng)。
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