ERT的白光同軸共焦光譜檢測技術讓我們進入納米級的測量領域

產品的*性能

      1. 超新技術原理：一種高精度的光譜共焦原理，可測量距離和厚度；
      2. 任何材質和表面：包括鏡面、玻璃、陶瓷、半導體、高光金屬等表面均可進行納米級測量； 
      3. 超高精度測量：zui小線性度可達0.03μm，zui高分辨率為0.3 nm；
      4. 從100μm-42 mm的可選量程；
      5. 超高采樣頻率：2K-60KHz，用于生產線，替代人工并提高合格率；
      6. 測量范圍極廣，幾乎*，解決激光三角法測量無法回避的因表面材質變化或傾斜而導致測量誤差等問題，zui大可測傾角87度； 
      7. 可進行透明工件（LCD、LCM、手機攝像頭等）多層厚度的精確測量，zui小可測量厚度為400 nm； 
      8. 可用于實驗室的2D輪廓測量、3D微觀形貌分析、表面粗糙度測量，到工業(yè)在線檢測、自動化控制等。