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光譜共焦測量多層傳感器

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更新時間:2026-07-13 18:16:32瀏覽次數(shù):340次

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搭配DUO控制器同步測量技術(shù):共焦色散和白光光譜干涉法采樣頻率100Hz-10KHZ適用鹵素?zé)艨梢蕴幚泶罅繙y量范圍擁有從130μm- 42mm傳感器由三部分組成:控制器、光纖、測頭最多可以測量10層不同折射率透明或半透明樣品光纖線可選配普通型或者鎧甲護(hù)套型的。

控制器技術(shù)規(guī)格

測量頻率 2000HZ
波長范圍 400-900nm
光譜分辨率 0.63nm/pixel
光源  
信號輸出 網(wǎng)口/RS232
外部觸發(fā)I/O 1input(TTL)/1 output(TTL)
光纖線 E2000(標(biāo)準(zhǔn)或鎧甲)
相對濕度 5%-80% HR無冷凝
工作溫度 5-50℃
外觀尺寸 376mm*363mm*114mm
重量 6KG
測量模式:
距離/厚度
1、光譜共焦測量
2、光譜干涉測量

 

測量頭技術(shù)參數(shù)

型號 CL0 CL1 CL2 CL3 CL4 CL5 CL6
量程(μm) 100 150 400 1400 4000 12000 24000
工作距離(mm) 2.69 3.35 10.8 12.0 16.2 25.9 21.5
可測傾角(°) 42 42.5 28 25 21 14 8.5
放大器型號 MG210 MG140 MG210 MG140 MG210 MG140 MG70 MG140 MG70 MG35 MG20 MG35 MG20 MG35 MG20
光斑尺寸(μm) 1.8 2.2 1.9 2.8 2.3 3.4 6.9 4 8 8 14 14 24.5 16 28
橫向分辨率(μm) 0.9 1.1 0.8 1.4 1.2 1.7 3.5 3.5 4 4 7.0 7.0 12.3 13 14
光量收集率 0.5 1.7 3.3 10 2.8 7.9 41 10 57 25 91 33 100 9.8 43
位移測量
不平均(nm) 5.0 6.0 7.0 8.0 17 20 25 50 60 110 135 370 425 700 800
10次平均(nm) 1.7 2.0 2.3 2.7 5.7 6.7 8.3 17 20 37 45 123 142 233 277
精度(nm) 16 14 25 20 55 45 40 120 100 250 200 750 550 1600 1200

最小可測粗糙度Ra(nm)

 

12

 

30

 

90

 

170

 

600

 

1100

厚度
最小可測厚度(μm) 5 5 7.5 9 14 14 22 38 40 110 120 350 550 590 725
可測厚度(μm) 100 100 175 175 510 510 510 2000 2000 5700 5700 16500 16500 34000 34000
長度(mm) 263.6 229 253.1 217.1 243.3 208.9 176.1 205.9 176.1 145.5 131.7 145.5 131.7 167.6 151.8
直徑(mm) 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27 27
重量(g) 227 192 268 195 248 190 189 215 214 155 140 175 160 195 180

(1)表中給出的數(shù)值是典型值,CL0,CL2,CL3,CL4有±3%的偏差;CL1,CL5,CL6有±6%的偏差,;
(2)可測傾角是指針對鏡面反射表面時的極限角度值。漫反射表面的可測傾角可達(dá)87。:
(3)在量程中間位置時的光斑尺寸,靠量程近端光斑更小,靠量程遠(yuǎn)端光斑更大,從中心分別到近端遠(yuǎn)端差異10%左右;
(4)光度收集率是指由不同的測頭測量同一樣品收集的能量,是相對單位量,此表中的數(shù)值為典型值。測量高度反射的樣品時,選擇低光度收集率的型號,為了避免飽和,測量擴(kuò)散或低反射的樣品時,選擇具有高光度收集率型號,以避免一個非常低的信號與噪聲比例;
(5)軸向分辨率RMS是對靜止樣品測得的噪聲電平。在量程的中心,以的速率進(jìn)行測量,內(nèi)部的平均分別設(shè)定為1-10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測量,并對應(yīng)交付每個傳感器的校準(zhǔn)證書;
(6)精度是由1nm精度的編碼器做比較校準(zhǔn),由所述傳感器測量距離時,在整個測量范圍內(nèi)的誤差。使用以下設(shè)置:自動適應(yīng)LED模式,的速度,傾角為0。,內(nèi)部平均=測量值/10。此參數(shù)為校準(zhǔn)后立即測量,并每個傳感器的校準(zhǔn)證書交付;
(7)最小可測量的Ra的精度取決于樣品的恃性,表中所給的值是典型的;
(8)在的速度下,測量范圍的中心,測量的典型值,不加平均。折射率=1.5個樣本(測量空氣間隙應(yīng)除以1 5的厚度時);

 注:以上參數(shù)如有變化,恕不另行通知。

 

光纖線規(guī)格(可選配以下)

型號 長度 內(nèi)徑 外徑 外殼 連接器類型
E50-3 3m 50/125μm 3mm 標(biāo)準(zhǔn) E2000
E50-5 5m 50/125μm 3mm 標(biāo)準(zhǔn) E2000
E50-10 10m 50/125μm 3mm 標(biāo)準(zhǔn) E2000
E50-3-M 3m 50/125μm 3mm 金屬外殼 E2000
E50-5-M 5m 50/125μm 3mm 金屬外殼 E2000
E50-10M 10m 50/125μm 3mm 金屬外殼 E2000
E50-20-M 20m 50/125μm 3mm 金屬外殼 E2000

                

        標(biāo)準(zhǔn)型光纖線                                    鎧甲護(hù)套型光纖線

 

多層測量軟件

STIL-DUO傳感器采用多層測量軟件,可以直接測量多層透明物體厚度(可達(dá)10層)

20171115113058_87904

測量3層樣品厚度

20171115112924_87784

測量5層樣品厚度

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