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行業(yè)產(chǎn)品

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雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地天津市

聯(lián)系方式:鄒雄威查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-12-08 08:53:59瀏覽次數(shù):119次

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經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:149條

所在地區(qū):天津

聯(lián)系人:鄒雄威 (業(yè)務(wù)經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

                雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)

產(chǎn)品描述:

該爐由TL1200真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,抽真空時真空度能夠達(dá)到10-3Pa。該爐安裝有行程開關(guān),當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源。該爐通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)??梢酝ㄟ^射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高所需的溫度更低。

技術(shù)參數(shù):

1.額定溫度:1100℃                     2.溫度:1200℃                         3.電壓:220V

4.加熱段:205mm+205mm                  5.溫控方式:智能化30段可編程控制          6.熱電偶:K型        

7.加熱元件:瑞典Kanthal-A1電阻絲

8.升溫速率:≤30℃/min   推薦升溫速率:≤15℃/min       

9.等離子射頻電源:輸出功率:50-500w可調(diào)±1% 穩(wěn)定性

頻率:13.56MHz ±0.005%

噪聲:<50dB

冷卻:空氣冷卻

輸入功率:AC 220V,500W       

10真空泵和閥門:采用KF25系列波紋管和精密球閥連接

真空度可達(dá)10-3Pa

數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值

11.質(zhì)量流量計(jì):內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量訓(xùn)科準(zhǔn)確的控制氣體流量

氣體流量范圍為0-200sccm,誤差:0.02%

一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況

不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入的數(shù)量

進(jìn)氣口:采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭

型號

TL1200-1200-PE-I

TL1200-1200-PE-II

TL1200-1200-PE-III

TL1200-1200-PE-IV

爐管尺寸

Φ60X1200

Φ80X1200

Φ100X1200

Φ150X1200

功率(KW)

3.5

3.5

3.5

5


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