天津天有利科技有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地天津市
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更新時間:2024-12-08 08:53:59瀏覽次數(shù):119次
聯(lián)系我時,請告知來自 儀表網(wǎng)雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
產(chǎn)品描述:
該爐由TL1200真空管式爐、石英真空室、射頻電源、GX供氣系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu),爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,抽真空時真空度能夠達(dá)到10-3Pa。該爐安裝有行程開關(guān),當(dāng)爐蓋打開時會自動切斷電源。該爐通過射頻電源把石英真空室內(nèi)的氣體變?yōu)殡x子態(tài)??梢酝ㄟ^射頻電源的頻率來控制所沉積薄膜的應(yīng)力大小比普通CVD進(jìn)行化學(xué)氣相沉積速率高、均勻性好、一致性和穩(wěn)定性高所需的溫度更低。
技術(shù)參數(shù):
1.額定溫度:1100℃ 2.溫度:1200℃ 3.電壓:220V
4.加熱段:205mm+205mm 5.溫控方式:智能化30段可編程控制 6.熱電偶:K型
7.加熱元件:瑞典Kanthal-A1電阻絲
8.升溫速率:≤30℃/min 推薦升溫速率:≤15℃/min
9.等離子射頻電源:輸出功率:50-500w可調(diào)±1% 穩(wěn)定性
頻率:13.56MHz ±0.005%
噪聲:<50dB
冷卻:空氣冷卻
輸入功率:AC 220V,500W
10真空泵和閥門:采用KF25系列波紋管和精密球閥連接
真空度可達(dá)10-3Pa
數(shù)字真空壓力表可直觀的顯示數(shù)值
11.質(zhì)量流量計(jì):內(nèi)部裝有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量訓(xùn)科準(zhǔn)確的控制氣體流量
氣體流量范圍為0-200sccm,誤差:0.02%
一個氣體攪拌罐上安裝了液體釋放閥的底部情況
不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入的數(shù)量
進(jìn)氣口:采用國際標(biāo)準(zhǔn)雙卡套接頭
型號 | TL1200-1200-PE-I | TL1200-1200-PE-II | TL1200-1200-PE-III | TL1200-1200-PE-IV |
爐管尺寸 | Φ60X1200 | Φ80X1200 | Φ100X1200 | Φ150X1200 |
功率(KW) | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 5 |
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