無機(jī)質(zhì)譜儀，主要用于無機(jī)元素微量分析和同位素分析等方面，它與有機(jī)質(zhì)譜儀工作原理不同的是物質(zhì)離子化的方式不一樣：無機(jī)質(zhì)譜儀是以電感耦合高頻放電（ICP）或其他的方式使被測物質(zhì)離子化。無機(jī)質(zhì)譜儀可以分為火花源質(zhì)譜儀、離子探針質(zhì)譜儀、激光探針質(zhì)譜儀、輝光放電質(zhì)譜儀、電感耦合等離子體質(zhì)譜儀。無機(jī)質(zhì)譜儀測試速度快，結(jié)果精確。無機(jī)質(zhì)譜儀廣泛用于地質(zhì)學(xué)、礦物學(xué)、地球化學(xué)、核工業(yè)、材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)、醫(yī)學(xué)衛(wèi)生、食品化學(xué)、石油化工等領(lǐng)域以及空間技術(shù)工作等特種分析方面。