同位素質(zhì)譜儀是由記錄儀、檢測(cè)器、質(zhì)量分析器、離子源以及樣品入口五個(gè)獨(dú)立的系統(tǒng)組成。
 

　　1、記錄儀：對(duì)檢測(cè)器的信號(hào)進(jìn)行接收并且放大和記錄，如此就使質(zhì)譜圖獲得。質(zhì)譜儀的記錄儀既能夠?yàn)楹?jiǎn)單的帶狀記錄紙，也能夠?yàn)楸容^復(fù)雜的電腦系統(tǒng)。不管是怎樣的情形。數(shù)據(jù)均應(yīng)當(dāng)被準(zhǔn)確的記錄，并且在之后有所需要的時(shí)候被調(diào)用。需要在真空系統(tǒng)運(yùn)行質(zhì)譜儀，一般室內(nèi)常壓的百萬(wàn)分之一或者十億分之一為真空度的范圍。在真空系統(tǒng)里包含離子源，質(zhì)量分析器和檢測(cè)器。
 

　　2、檢測(cè)器：能夠?qū)σ呀?jīng)被分離的離子的到達(dá)加以感知，將非常微小的離子的電流放大，從而進(jìn)行進(jìn)一步的電子處理。盡管有非常多不同類型的檢測(cè)器，然而作用都相同，即是對(duì)離子進(jìn)行檢測(cè)并且將其轉(zhuǎn)變?yōu)楸容^強(qiáng)的電信號(hào)。
 

　　3、質(zhì)量分析器：在質(zhì)譜儀里，樣品離子的運(yùn)動(dòng)受到電場(chǎng)或者磁場(chǎng)，或者兩者都有的分析器的控制，如此就能夠按照它們的質(zhì)量差異分離它們。盡管質(zhì)量分析器有很多不同的種類，然而它們執(zhí)行的功能都一樣——按照質(zhì)量對(duì)不同的離子進(jìn)行分離。
 

　　4、離子源：質(zhì)譜儀離子源是將樣品分子轉(zhuǎn)變?yōu)闃悠冯x子。帶有電荷的樣品分子即為樣品離子。由中行分子里將一個(gè)電子移除，如此，就使正離子形成了，此即為形成樣品離子的簡(jiǎn)單方法。在從前的很多年里，開(kāi)發(fā)出了很多不同的離子源，然而較為重要的一點(diǎn)，只有樣品分子變成樣品離子，才可以被質(zhì)譜所分析。
 

　　5、樣品入口：因?yàn)樾枰谡婵諣顟B(tài)下運(yùn)行質(zhì)譜儀，必須要有一個(gè)樣品入口，如此才可以從室內(nèi)常壓將樣品往離子源轉(zhuǎn)移。