小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統(tǒng)

小型工藝氣體分析儀MICROPOLE系統(tǒng)與傳統(tǒng)的質(zhì)量能譜儀相比，這種排列方式可以提供相近或者更好的靈敏度，但只占傳統(tǒng)質(zhì)量能譜儀的一小部分體積。而且，與傳統(tǒng)質(zhì)量能譜儀相比，本系統(tǒng)可以在更高的壓力環(huán)境下使用，因此，它可以減少原來需要另外配置的差壓泵設(shè)備根據(jù)可以讓用戶直接更替?zhèn)鞲衅鞯霓D(zhuǎn)移標準，我們的傳感器已經(jīng)在工廠進行過預先調(diào)諧和校準處理，無需專業(yè)的技術(shù)性再校準當你使用帶有3.5寸LCD顯示屏的監(jiān)測控制器時，不經(jīng)過電腦進行數(shù)據(jù)提取也是可行的。升級到八電極系統(tǒng)后，它可以通過RS485或者以太網(wǎng)通訊進行網(wǎng)絡控制。

特征：

• 極為緊湊的安裝尺寸和極輕的重量

與傳統(tǒng)的殘余氣體分析儀相比，它只有其1/20的尺寸，這使它非常容易整合到您的系統(tǒng)之中。

• 高性能

在只占傳統(tǒng)電極一小部分的體積里，微型化的九電極排列提供了*的靈敏度。

• 高壓力條件下可使用

可以在高于0.9Pa(7mTorr, 9 x 10^-3mbar)的壓力條件下使用，在許多需要昂貴真空泵的應用當中，可以簡化或者省略泵的使用。

• 已經(jīng)校準過的可替換傳感器接頭

此傳感器接頭在出貨之前已經(jīng)進行過預調(diào)諧和校準。允許客戶自己在現(xiàn)場進行傳感器的更換而不需要任何微調(diào)或者技術(shù)性專家鑒定。

• 網(wǎng)絡傳感器

升級到八電極后，可以通過一臺使用RS485接口的電腦進行監(jiān)測。此系統(tǒng)也可以通過以太網(wǎng)進行遠程監(jiān)測。

• 用戶友好軟件

微電極掃描軟件允許用戶用各種不同的方式監(jiān)測氣體的部分壓力，如趨勢曲線圖，相似性曲線圖，泄露模式，條形統(tǒng)計圖，3D等

• 監(jiān)測控制

可選擇性的監(jiān)測控制器可以直接安裝在反應室的光譜發(fā)生器上，使用戶無需電腦就可以監(jiān)測真空反應室。