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目錄:HORIBA-堀場(chǎng)(中國(guó))貿(mào)易有限公司>>制造業(yè)>> GA-370痕量氣體分析儀

GA-370痕量氣體分析儀

  • GA-370痕量氣體分析儀
參考價(jià) 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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更新時(shí)間:2025-12-29 10:10:45瀏覽次數(shù):112評(píng)價(jià)

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GA-370痕量氣體分析儀
  • 概要
  • 規(guī)格
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概要

實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體連續(xù)監(jiān)測(cè),主要應(yīng)用于空分和半導(dǎo)體行業(yè)。

實(shí)現(xiàn)對(duì)高純度氣體中的痕量雜質(zhì)氣體 (CO, CO2 和 CH4) 的超高感度連續(xù)測(cè)量。

特征

超高感度分析

  • 采用交替流動(dòng)調(diào)制方式的非分光紅外吸收原理可以實(shí)現(xiàn)無零點(diǎn)漂移的長(zhǎng)期安定的連續(xù)測(cè)量。
  • 最小檢出限可達(dá)10ppb,尤其適合追求高精度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量。
  • 使高純氣體中的痕量氣體檢測(cè)成為可能。典型平衡氣氣體N2,O2,He,Ar,H2和空氣。

操作簡(jiǎn)單,無需維護(hù)

  • 使用時(shí)無需任何特使操作,校正和測(cè)量等全部操作均可在顯示畫面上進(jìn)行。
  • 采用HORIBA的技術(shù)-交替流動(dòng)調(diào)制方式,無需光學(xué)調(diào)整,無需維護(hù)。
  • 彩色液晶顯示屏,觸摸操作可以顯示彩色趨勢(shì)圖,有更好的可視性 。


典型應(yīng)用

一般情況下,作為工業(yè)用氣體使用的氧氣,氮?dú)馐峭ㄟ^空氣分離來制造的。

首先將除去水分和CO2的原料空氣通入分離裝置,分離裝置時(shí)利用氮?dú)?、氬氣和氧氣三者氣體的沸點(diǎn)不同進(jìn)行分離出不同氣體。

氫氣和氦氣也是利用類似的氣體分離裝置制備。

GA-370測(cè)量實(shí)例。高純度氮?dú)?、氬氣、氧氣制造行業(yè)痕量氣體的測(cè)定。

除去水分、CO2后原料氣體中痕量氣體的測(cè)量。

 

測(cè)量原理

交替流動(dòng)調(diào)制方式雙光路非分光紅外吸收原理

GA-370用一束紅外光透過檢測(cè)室射入檢測(cè)器,測(cè)量過程中通過切換電磁閥將采用氣體和參比氣體切換通入檢測(cè)室。

測(cè)量樣氣和參比氣體使用相同的氣體(例如零點(diǎn)氣體)時(shí),無法產(chǎn)生調(diào)制信號(hào),因此不會(huì)產(chǎn)生漂移,解決了 痕量氣體分析中的零點(diǎn)漂移宜問題。

而且使用雙光路檢測(cè)氣室,以相反的相位導(dǎo)入測(cè)量樣氣和參比氣體,可實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)期安定穩(wěn)定運(yùn)行,無需光學(xué)調(diào)整。

 

 

氣體流程圖


規(guī)格

型號(hào)

GA-370

可測(cè)量的氣體種類 

CO, CO2, 和CH4

高純氣體種類 

N2, O2, He, Ar, H2, 空氣

測(cè)量組分?jǐn)?shù)目

1 組分或 2 組分
(由平衡氣體種類決定)

測(cè)量原理

交替流動(dòng)調(diào)制方式
雙光路非分光紅外吸收原理

量程 

0 to 1/2/5/10 ppm

檢出限 (2σ) 

10 ppb

重復(fù)性

≤ ± 2% F.S.

直線性

≤ ± 2% F.S.

零點(diǎn)量程

≤±0.02ppm/天,≤±0.03ppm/周

量程漂移 

≤±2% F. S./天 ,≤±3%F .S./周

響應(yīng)時(shí)間(T90)

≤ 180s

流量 *

測(cè)量氧氣:約 3.5 L/min;參比氣體:約 3.5 L/min
量程氣:約 3.5 L/min
(注: 測(cè)量樣氣和參比氣體的推薦壓力值為50-100 kP)

模擬輸出

最多可選兩路絕緣輸出 (2 組分);
0 -1 V,0 -10 V,0 -16 mA,4 - 20 mA,0-20mA
中可選1路
電流輸出: 允許負(fù)載電阻750Ω或以下

安裝環(huán)境

環(huán)境溫度0- 40°C

環(huán)境濕度

≤85%

顆粒物 

低于環(huán)境空氣基準(zhǔn)

震動(dòng) 

0.29 m/s2,頻率≤100 Hz

外形尺寸和重量

430(W) × 221(H) × 555(D) mm (含突起部分);約18 kg

電源

100 - 240 V AC,≤ ±10% (電壓 :25 0V )

功率

約100 VA

* 注 1) 參比氣體和量程氣由用戶提供,氣瓶的精度需滿足測(cè)試要求。
* 注 2) GA-370 痕量氣體分析儀在特殊場(chǎng)合下并不安全。例如,在含H2的環(huán)境中使用時(shí)需配合防爆小屋以避免爆炸。

樣本

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GA-370痕量氣體分析儀

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