MEMS壓力傳感器的應用

時間：2026/3/21閱讀：19

MEMS壓力傳感器在多種應用領域得到大量使用

MEMS壓力傳感器是一種薄膜元件，受到壓力時變形?？梢岳脩儍x（壓阻型感測）來測量這種形變，也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。這兩種方法都很流行。

汽車產業(yè)仍然是MEMS壓力傳感器的應用領域，占其銷售額的72%，其次是醫(yī)療電子占12%，工業(yè)領域占10%，消費電子與航空占據(jù)其余的6%市場。

在汽車領域，引擎管理是其主要應用，包括汽油發(fā)動機中的歧管空氣壓力傳感器和柴油車中的共軌壓力傳感器，尤其是在歐洲。為了改善燃燒情況，有些組織也在研究可以在汽缸內工作的壓力傳感器，以更好地測量參與化學反應的各種物質的準確比例，并把數(shù)據(jù)反饋給引擎管理系統(tǒng)。

由于工作環(huán)境惡劣，汽車傳感器的價格比消費類傳感器高得多。另外，汽車傳感器需要較長的鑒定時間，而且這些傳感器必須能可靠工作長達15年的時間。有些傳感器，比如剎車或輪胎壓力傳感器，對于汽車安全至關重要。

MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應用是傳動系統(tǒng)壓力感測，通常用于自動裝置之中，但也用于新型雙離合器傳動系統(tǒng)。德國廠商博世最近進入該市場，推出了一款MEMS解決方案，使用油來保護硅薄膜，使其可以耐受70巴的壓力。多孔硅的MEMS器件，也已用于目前的側面氣囊等應用之中。

在醫(yī)療市場，壓力傳感器主要充當使用的一次性低成本導管。但它們也用于昂貴的設備之中，在連續(xù)氣道正壓通氣（CPAC）機中感測壓力與差流。這些器件潛力巨大，可能在2015年以后成為可植入傳感器。可植入傳感器不需要電池就能工作，可以用于心臟測量和監(jiān)測青光眼。

在工業(yè)領域，MEMS壓力傳感器的主要應用包括采暖通風及空調（HVAC）、水平面測量、各種工業(yè)過程與控制應用。例如，除了精確的高度氣壓測量，飛機使用傳感器監(jiān)測引擎、襟翼等其它部件。

在過去的幾年中，壓力傳感器市場取得了迅速進展，對競爭格局產生了積極影響，為市場引入了新的參與者并擴大了市場現(xiàn)有參與者的范圍。

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