一、應用介紹：應用于航空、航天、石油、化工、船舶、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位，主要作BPO膠/PI膠/BCB膠固化，IC（晶圓、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指紋識別）、FPD、高精密電子元件、電子陶瓷材料無塵烘干，電工產(chǎn)品、材料、零備等的高溫潔凈和無氧環(huán)境中干燥和老化試驗。
主要特點：節(jié)省氮氣（30LPM），具有升溫快、節(jié)能等特點，*的送風、排風系統(tǒng)，確保爐箱溫度均勻，美國金屬過濾器，確保潔凈度的要求。

二、技術指標：
2.1長期使用溫度：400℃；（溫度：450℃）
2.2控溫精度：±1℃； 

2.3 溫度均勻度：≤2%MFS；

2.4升溫速率：≤8℃/min;

2.5降溫速率:400℃-80℃，≤2.5h；

2.6 降溫方式：風冷；

2.7極限真空度：≤10pa

2.8氧含量指標：常溫下≤50ppm;高溫下≤30ppm

2.9潔凈度：class100級

    3.1 加熱元件：嵌入式FEC加熱板，環(huán)形四周加熱；

    3.2 保溫材料：陶瓷纖維材料；

4.1 風冷降溫；空氣放大器強制抽排；

4.3 環(huán)境氣體吹掃爐膽外壁，加快降溫速率；