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??擴散硅壓力變送器主要有以下特點:
??1. 高精度:測量精度一般可達 ±0.1% FS 至 ±0.5% FS,甚至有些產(chǎn)品高精度可達 0.1% FS。其感受、敏感轉(zhuǎn)換和檢測三位一體,無機械動件連接轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié),重復性和遲滯誤差很小,加之硅材料剛性好、形變小,傳感器線性度非常好,如線性度高達 0.1% FS,便于系統(tǒng)校準和信號處理,可滿足大多數(shù)工業(yè)測量和科研領(lǐng)域?qū)毫y量精度的要求。
??2. 高靈敏度:對壓力變化具有較高的響應速度和靈敏度,擴散硅敏感電阻的靈敏因子比金屬應變片高 50 至 80 倍,滿量程信號輸出在 80-100mv 左右,能檢測到微小的壓力變化,適用于測量動態(tài)壓力和微小壓力信號,且輸入激勵電壓低,輸出信號大,分辨率高。
??3. 良好的穩(wěn)定性:采用制造工藝和溫度補償技術(shù),如激光調(diào)阻、計算機自動修整技術(shù)等,傳感器的零位和靈敏度溫度系數(shù)已達 10-5/℃數(shù)量級,每年的穩(wěn)定性優(yōu)于 0.1% 滿量程,能夠在較寬的溫度范圍內(nèi)保持良好的穩(wěn)定性,減少溫度對測量精度的影響。
??4. 抗過載和抗沖擊能力強:壓力敏感區(qū)域通常被一層保護膜覆蓋,過壓可達量程的數(shù)倍,甚至用硬物直接敲打測量元件也不致使其損壞,且對測量精度毫無影響,確保了變送器在承受超過標稱壓力的瞬間過載時不會損壞,提高了設(shè)備安全性。
??5. 耐腐蝕:硅材料本身具有優(yōu)良的化學防腐性能,能適應多種腐蝕性介質(zhì)的壓力測量,如酸、堿、鹽等溶液。同時,外殼和密封材料也具有相應的耐腐蝕性能,加之硅材料與硅油有良好的兼容性,在采用防腐材料隔離時結(jié)構(gòu)工藝更易于實現(xiàn),可在惡劣環(huán)境下長期穩(wěn)定工作。
??6. 體積小、重量輕:結(jié)構(gòu)緊湊,體積小,重量輕,如有的產(chǎn)品總高僅 166mm,重量約 1kg,便于安裝和使用,可廣泛應用于各種空間有限的場合。
??7. 工作可靠、維修量少:采用單片微機械技術(shù)制造,敏感元件與襯底之間形成剛性連接,擴散硅敏感膜片的彈性形變量在微應變數(shù)量級,膜片位移量在微米數(shù)量級,且無機械磨損,無疲勞,無老化,平均時間長,可靠性高,且無機械可動部件,減少了故障發(fā)生的概率,維修量少。
??8. 輸出信號標準:一般輸出 4-20mA 的標準電流信號或 0-5V、0-10V 等標準電壓信號,便于與各種自動化控制系統(tǒng)、顯示儀表等進行連接和匹配,實現(xiàn)壓力的遠程測量、控制和顯示。
??9. 測量介質(zhì)廣泛:可測油、水及與 316 不銹鋼兼容的糊狀物等多種介質(zhì),適用性廣。
??10. 頻響高:由于敏感膜片硅材料的本身固有頻率高,一般在 50KC,制造過程采用集成工藝,膜片有效面積小,配以剛性結(jié)構(gòu)前置安裝特殊設(shè)計,使傳感器頻率響應很高,使用帶寬可達零頻至 100 千赫茲,能夠快速準確地響應壓力的變化,對于動態(tài)壓力測量具有良好的適應性。
??11. 抗電擊穿性能好:采用特殊材料和裝配工藝,擴散硅傳感器在強磁場、高電壓擊穿試驗中可抗擊 1500V/AC 電壓的沖擊,可在較為惡劣的電磁環(huán)境下正常工作。
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虹潤公司是專業(yè)生產(chǎn)顯示控制儀表的國家專精特新“小巨人"企業(yè),生產(chǎn)的K2系列擴散硅壓力變送器具有響應速度快,精度高,穩(wěn)定性好等特點。
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