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FR-Scanner掃描型膜厚測試儀

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更新時間：2024-05-21 07:38:37瀏覽次數(shù)：321次

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產(chǎn)品簡介

掃描型膜厚測試儀全自動，超快速，高精準(zhǔn)等膜厚表征繪制和膜厚涂覆的光學(xué)特性，利用光學(xué)反射方法來測量和自動分析薄膜涂層的表征。

詳細(xì)介紹

掃描型膜厚測試儀

是簡潔易操作的臺式膜厚儀，適用于在大尺寸基板上的薄膜和涂層上，利用光學(xué)反射方法來測量和自動分析薄膜涂層的表征。

掃描型膜厚測試儀

膜厚儀是可通過測定放置在真空托盤上的任何大小的半導(dǎo)體晶圓片，快速計算出其厚度、折射率、均勻性、顏色等參數(shù)。

膜厚儀的光學(xué)掃描系統(tǒng)，采用一套又可配套的光譜儀，集成白熾和LED混合的光源，以及其他光學(xué)部件。在本系統(tǒng)設(shè)計中沒有任何彎曲或移動探針。因此，在精確度、重復(fù)性和長期性方面，光纖具有優(yōu)異的性能。確保系統(tǒng)結(jié)果輸出的穩(wěn)定性。此外光源的特殊設(shè)計提供極長壽命，可達(dá)10000小時以上。

系統(tǒng)參數(shù)	FR-Scanner-E VIS/NIR	FR-Scanner-F VIS/NIR	FR-Scanner-F VIS
樣片尺寸	晶圓片: 2in-3in-4in-6in-8in. 不規(guī)則樣片等
R向分辨精度	10μm	5μm	5μm
角度分辨精度	0.2°	0.1°	0.1°
光斑大小	500μm (直徑): 反射的區(qū)域
zui小膜厚	100nm
光譜范圍	350nm - 1100nm	350nm - 1100nm	550nm – 900nm
光譜儀參數(shù)	3648 pixels
光源平均使用壽命	10000小時
膜厚范圍	20nm-90μm	20nm-90μm	100nm-190μm
測量分辨率	<0.1nm	0.06nm	0.06nm
測量穩(wěn)定范圍	<0.1nm	0.06nm	0.06nm
測量精度	1nm	1nm	1nm
掃描速率	200meas/min 5points: 6sec 25points: 15sec	625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec	625meas/min 5points: 4sec 25points: 9 sec
通訊接口	USB 2.0 / USB 3.0. Any PC running Windows 7/8/10 64bit.
尺寸	485W x 457L x 500H mm
功率要求	110V/230V, 50-60Hz, 300Watts
重量	23kg	40kg	40kg