CGO-4高低溫真空探針臺產品介紹:溫度范圍77K-675K
CGO-4高低溫真空探針臺產品介紹:
溫度范圍77K-675K;
可應用于真空及常規(guī)環(huán)境;
超高溫度分辨率;
特殊客制低溫系統;
具有*穩(wěn)定性
特點/應用
◆ 2至6英寸樣品臺
◆ 高真空腔體
◆ 防輻射屏設計,樣品溫度均勻性更好
◆ 77K-675K高低溫環(huán)境
◆ 兼容IV/CV/RF測試
◆ 外置多探針臂,移動行程大
◆ 經濟實用,可無縫升級
極低溫測試:
因為晶圓在低溫大氣環(huán)境測試時,空氣中的水汽會凝結在晶圓上,會導致漏電過大或者探針無法接觸電極而使測試失敗。避免這些需要把真空腔內的水汽在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
高溫無氧化測試:
當晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時,氧化現象會越來越明顯,并且溫度越高氧化越嚴重。過度氧化會導致晶圓電性誤差,物理和機械形變。避免這些需要把真空腔內的氧氣在測試前用泵抽走,并且保持整個測試過程泵的運轉。
晶圓測試過程中溫度在低溫和高溫中變換,因為熱脹冷縮現象,定位好的探針與器件電極間會有相對位移,這時需要針座的重新定位,針座位于腔體外部。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動化針座來調整探針的位置。