典型應(yīng)用：光束穩(wěn)定、光束跟蹤、光束偏擺、自適應(yīng)光學(xué)。

高速偏擺鏡采用壓電陶瓷驅(qū)動，內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，采用有限方針分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，且具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。高速偏擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了高速偏擺鏡具有的運(yùn)動控制精度，定位精度，分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級，緊湊型設(shè)計(jì)，可以更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)。

壓電偏擺鏡 快反鏡 壓電偏轉(zhuǎn)鏡 壓電偏擺臺 壓電精瞄鏡 壓電傾斜鏡 超高速偏擺臺 大口徑偏擺鏡