美國康寧Corning Tropel Flat Master系列平面度測量系統(tǒng)基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應用光學等材料科學和制程工藝領域的知識, CORNING 創(chuàng)造并制造出了眾多被用于高科技消費電子、移動排放控制、通訊和平板顯示等科學領域產品的關鍵檢測設備。
美國康寧Corning Tropel Flat Master 200平面度儀也稱為平整度儀、平坦度儀，為精密部件的制造商提供了業(yè)界的表面形態(tài)測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。Flat Master 200平面度儀能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行測量。

Flat Master 200平面度儀產品特點：

? 無接觸和無損傷測量 ? 適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料 ? 適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰 ? 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，光滑面

Flat Master 200平面度儀可測量多種不同指標：

? 厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓 ? 完整的分析系統(tǒng) ? 三維/拓撲/合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度 ? 可以實現自動、快速、準確、穩(wěn)定的測量 ? 超過15年的工業(yè)應用，幾百臺的裝機量

Flat Master 200平面度儀的技術參數：

1）精度：50nm （2.0μ″） 2）重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma） 3）分辨率：5nm （0.2μ″） 4）可測量工件尺寸：25mm-200mm 5）動態(tài)測量范圍：>100um 6）測量數據點：230,000 點 / 每次測量 7）測量時間：5秒 8）電源：220V 50Hz

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上海量博實業(yè)有限公司專業(yè)代理美國康寧CORNING TROPEL平面度儀/平坦度儀等，量博技術服務部與匯聚資源的合作品牌一起，以共同對測量技術的專注和專業(yè)，致力于在質量檢測和工業(yè)領域，為客戶提供區(qū)域化和化的廣泛而的優(yōu)質產品和服務，確保操作和維護儀器的總體有效性和成本*佳化，增強您測量和檢測的可靠性和性能，如需進一步了解，歡迎來電詳詢。

產品規(guī)格	Tropel FlatMaster 200
測量方法	斜入射式激光干涉法
產品性能
精確度	50nm （0.05um）
重復性	15nm （0.015um）
解析度	5nm （0.005um）
測量尺寸	5mm~200mm
測量數據點數	230,000點/每次測量
測量時間	5秒
標準測量	平面度，線輪廓，面輪廓，球半徑，zui高點，zui低點, X-Y坐標，3-D，圓環(huán)，局部平面度分析，表面輪廓等
材質和表面的要求
材質	金屬，陶瓷，聚合物，玻璃等
表面	粗磨，研磨，精磨，拋光，精加工
反射率	zui小值為10%（入射角為85度）
粗糙度zui大限度	1.0 μm (40 μ") Ra (typical at 4 μm/fringe)
重量和尺寸
FlatMaster 200	76 cm x 65 cm x 34 cm, 75 kg
可選擇的配置
擴展范圍選項（XR）：允許在更大的動態(tài)范圍內進行測量 擴展精度選項（XA）：允許在更高的精度下進行測量 擴展范圍和精度選項（XRA）：包括了XR和XA的選項