1 探針臺主機(jī)：α-100

1.1 適用： 4英寸及以下晶圓或芯片

1.2 X軸： 粗調(diào)行程：100mm

粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿

微調(diào)行程：13mm

微調(diào)方式：千分尺控制

控制分辨率：10um

1.3 Y軸： 粗調(diào)行程：120mm

粗調(diào)方式：自鎖式推拉桿

微調(diào)行程：13mm

微調(diào)方式：千分尺控制

控制分辨率：10um

1.4 Z軸： 移動量：5mm

粗調(diào)行程：5mm，精度：±10%以內(nèi)

微調(diào)行程：0.3mm，精度：±20%以內(nèi)

1.5 θ軸： 移動量：±10°以上

1.6 平行度： 對載物臺 30um以內(nèi)

1.7 尺寸： 400（W）×360（D）×330（H） 不含突出部

1.8 重量： 約25kg

1.9 真空壓 小于-65kPa（用于晶圓吸附）

1.10 壓縮空氣：0.4-0.5MPa

1.11 使用環(huán)境：溫度23℃±5℃，濕度20%-80%（無結(jié)霜）