安徽諾益科技有限公司
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閱讀：66發(fā)布時間：2024-2-12
現(xiàn)今，越來越多地改用大型渦輪分子泵或低溫泵來代替油擴散泵系統(tǒng)，以防止油蒸汽的污染。因此，最近十幾年來，渦輪分子泵在國內(nèi)、外都得到了顯著的改進和發(fā)展。
渦輪分子泵與油擴散泵相比具有啟動快, 有機蒸汽污染少和極限真空高等特點. 因此在氦質(zhì)譜檢漏儀中采用分子泵作為高真空系統(tǒng), 即使檢漏儀不用液氮冷阱, 質(zhì)譜室也不致嚴重沾污, 并能保持較低的本底或雜聲. 這有利于氦質(zhì)譜檢漏儀的靈敏度和穩(wěn)定性的提高, 并且延長離子源的使用壽命.
擴散泵的使用者必須經(jīng)常提高警惕，防止泵工作液由于空氣沖入使泵的噴氣在高的空氣壓強下破壞而倒轉(zhuǎn)流向或沿管道表面的“蠕爬"，造成對真空室的污染。對于渦輪分子泵，在這方面，則無需更多地擔(dān)心。由于渦輪分子泵潤滑油的揮發(fā)性相當(dāng)高，在沾污事故后，比擴散泵所用的低蒸汽壓工作液更容易從系統(tǒng)壁上除去。在油脂、氣膜和磁懸浮型軸承方面進一步改進的渦輪分子泵現(xiàn)已問世，這些泵幾乎沒有有機沾污。
氦質(zhì)譜檢漏儀質(zhì)量范圍很寬，不僅可檢測氦氣，而且能檢測其它氣體。分子泵排氣系統(tǒng)取代擴散泵排氣系統(tǒng)，不僅解決了油蒸氣對質(zhì)譜室的污染問題，而且對快速啟動儀器和快速停機做出了很大貢獻。
諾益氦質(zhì)譜檢漏儀中沒有手動閥，現(xiàn)已采用自控閥自動調(diào)節(jié)運轉(zhuǎn)時的誤差。同時用渦輪分子泵取代了油擴散泵，以消除可能造成的油返流。計算機技術(shù)也在檢漏儀中獲得應(yīng)用。運轉(zhuǎn)、控制和輸出數(shù)據(jù)均由計算機自動操作完成。典型的示波器已由陰端射線管顯像屏所代替。整個操作只須按各種按鈕自動進行。還可以使用app遠程操控檢漏儀，并實時監(jiān)控檢漏儀顯示漏率。
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