上海天皋電氣有限公司
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閱讀：147發(fā)布時(shí)間：2024-9-6
半導(dǎo)體制造工藝中氧氣含量是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù)，因?yàn)樗梢杂绊懖牧系男再|(zhì)、反應(yīng)速率和產(chǎn)品質(zhì)量。Microx-223氧分析儀是一款高精度的氣體分析設(shè)備(可以測量到10ppm以內(nèi)氧含量)，非常適合用于半導(dǎo)體工藝中的RTA（Rapid Thermal Annealing，快速熱退火）快速退火爐上監(jiān)控氧含量。
以下是使用Microx-223氧分析儀在半導(dǎo)體RTA快速退火爐上監(jiān)控氧含量的步驟：
1.安裝和校準(zhǔn)：
● 將Microx-223氧分析儀安裝在RTA退火爐的氣體出口或取樣點(diǎn)，確保傳感器能夠直接接觸到爐內(nèi)處理過程中的氣體。
● 在安裝之前對氧分析儀進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保其測量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性。
2.系統(tǒng)集成：
● 將氧分析儀與RTA退火爐的控制系統(tǒng)（通常是自動(dòng)化或PLC系統(tǒng)）進(jìn)行集成。這可以通過硬線連接或網(wǎng)絡(luò)通訊（如RS-232, RS-485, Ethernet等）實(shí)現(xiàn)。
● 集成后氧分析儀可以實(shí)時(shí)向控制系統(tǒng)提供氧含量的數(shù)據(jù)，控制系統(tǒng)則可以根據(jù)這些數(shù)據(jù)調(diào)整爐內(nèi)條件或觸發(fā)警報(bào)。
3.設(shè)置報(bào)警和監(jiān)控閾值：
● 在控制系統(tǒng)中，為Microx-223氧分析儀設(shè)置報(bào)警閾值。當(dāng)氧含量超過或低于這些閾值時(shí)，系統(tǒng)應(yīng)能夠觸發(fā)警報(bào)，以通知操作人員及時(shí)采取措施。
● 設(shè)置監(jiān)控閾值，以便操作人員和質(zhì)量控制團(tuán)隊(duì)可以持續(xù)監(jiān)控氧含量，并據(jù)此調(diào)整工藝參數(shù)或進(jìn)行故障排除。
4.數(shù)據(jù)記錄和分析：
● 利用控制系統(tǒng)或附加的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，記錄氧含量的歷史數(shù)據(jù)。
● 分析這些數(shù)據(jù)，以識別工藝穩(wěn)定性、產(chǎn)品一致性和潛在的工藝改進(jìn)點(diǎn)。
5.維護(hù)和校準(zhǔn)：
● 定期對Microx-223氧分析儀進(jìn)行維護(hù)和校準(zhǔn)，以確保其長期準(zhǔn)確性和可靠性。
● 根據(jù)制造商的建議和半導(dǎo)體工藝的要求，制定維護(hù)計(jì)劃。
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 測量范圍：1ppm-25% O2
● 可靠的氧化鋯傳感器技術(shù)
● 適用于嚴(yán)苛的環(huán)境
● 響應(yīng)快
● 導(dǎo)軌式安裝
● LCD 顯示和 4 個(gè)多功能按鈕
● 4-20mA 信號輸出
● RS-232 通訊協(xié)議
● 24VDC 供電
● 3 組繼電器報(bào)警
● M18x1.5 螺紋過程接口
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