2025年9月4日，備受矚目的第十三屆半導體設備材料與核心部件展示會在無錫太湖國際博覽中心隆重舉行。本屆半導體設備年會以“做強中國芯，擁抱芯世界"為主題，匯聚了半導體設備制造商、傳感器制造企業(yè)及產業(yè)鏈上下游企業(yè)，科研院所的專家學者，分享最新科研成果與實際應用案例，共同探討如何通過技術創(chuàng)新賦能產業(yè)升級。


 
KANOMAX攜塵埃粒子計數器、熱式風速儀、風速變送器、微差壓計等檢測儀器亮相B3-328展位。








 
展臺前人流涌動，半導體材料企業(yè)的研發(fā)人員、Fab廠的技術負責人紛紛駐足咨詢，加野工作人員耐心細致地介紹儀器的性能特點、應用場景，并現場進行產品演示，讓大家直觀感受產品的出色性能。




 
粒子計數器在半導體制造環(huán)境中應用
在半導體芯片制造過程中，對生產環(huán)境的潔凈度要求較高，必須禁止因粉塵顆粒、工藝偏差等因素造成晶體短路或斷路，控制凈化環(huán)境下的作業(yè)現場中超微小顆粒物數量，以保證產品質量和提升產品良率。
 


在半導體芯片生產過程中，粒子計數器主要應用于：
1. Fab廠的制造工藝檢測：在晶圓的光刻、涂膠顯影、刻蝕等多個工藝環(huán)節(jié)中，使用粒子計數器檢測環(huán)境中的塵埃粒子，確保工藝的精確性。
2. 封裝過程：在晶圓切割封裝過程中，粒子計數器同樣發(fā)揮著關鍵作用，保證封裝質量。
3. 半導體設備生產工藝的質量監(jiān)測：通過粒子計數器對設備工藝點進行監(jiān)控，確保生產過程的穩(wěn)定性和產品質量。


 
超小型塵埃粒子計數器3950，專為半導體芯片制造環(huán)境設計，其能夠精準監(jiān)測0.1μm和0.3μm的微小粒子，且具備致輕致小的優(yōu)勢，也可作為傳感器嵌入生產設備實時監(jiān)測作業(yè)現場的超微粒子，為凈化作業(yè)環(huán)境的潔凈度評定提供了可靠依據。憑借0.1μm級的精準檢測技術，為 “中國芯" 制造的每一個微觀環(huán)節(jié)筑牢質量防線。
 



風速儀在半導體制造環(huán)境中應用
在半導體制造中，顯影、刻蝕、切割等關鍵工藝環(huán)節(jié)，其環(huán)境風速（潔凈室及設備內部局部風速）直接影響工藝精度、良率及產品可靠性。合理的風速能形成穩(wěn)定的 “層流/亂流場"，將微粒（如光刻膠殘渣、刻蝕副產物、切割粉塵）帶走，避免其附著在晶圓表面導致缺陷；
同時，風速異常（過高/過低/不均）會直接引發(fā)良率損失。例如，光刻環(huán)節(jié)風速波動5%可能導致線寬偏差0.03μm（7nm工藝線寬偏差允許值僅0.02μm），直接導致芯片失效。


 
涂膠顯影設備對生產環(huán)境的潔凈度要求較高，尤其是光刻膠涂布和顯影過程中，微小的顆粒的污染可能導致光刻圖案缺陷，影響芯片性能。需要通過風機過濾單元（FFU）高效過濾器（如HEPA或ULPA）提供潔凈的空氣，有效去除環(huán)境中的顆粒物，確保晶圓表面無污染，從而提高光刻圖案的精度和成品率。


 
KANOMAX環(huán)境測試儀65Ser能夠準確捕捉潔凈室及設備內部的風速變化，無論是微小的風速波動還是局部區(qū)域的風速差異，同時測量風速、溫度、濕度、壓力、輸入管道截面的形狀及尺寸從而計算出風量，8種探頭可供選擇，憑借高精度、探頭互換性、穩(wěn)定性、易操作性及多參數測量顯示等特點在半導體制造設備行業(yè)得到廣泛應用。



KANOMAX在半導體潔凈技術領域深耕多年，已經贏得了眾多客戶的信賴和認可。公司將持續(xù)加大研發(fā)投入，不斷推出具有競爭力的新產品和新技術，滿足市場的不斷變化和升級需求，為推動半導體產業(yè)發(fā)展和進步做出更大的貢獻。
感謝各位蒞臨加野KANOMAX展臺參觀交流，明日精彩繼續(xù)，讓我們共同見證半導體行業(yè)發(fā)展新征程！