KOH蝕刻設(shè)備(ETC-6001F)

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產(chǎn)品型號(hào)SN1590488130

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廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所在地上海

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更新時(shí)間：2026-09-23 15:18:15瀏覽次數(shù)：130次

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上海升利測(cè)試儀器有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：678條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：唐先生（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

技術(shù)參數(shù)1.熔爐：±200mm×H167mm（Ni）2.籃子：6英寸晶圓兼容（Ni）3.加熱溫度：700°C（常規(guī)500°C）=控制熱電偶指令值4.溫度穩(wěn)定性：±1°C5.功率：?jiǎn)蜗郃C200V20A6.提升機(jī)構(gòu)：自動(dòng)7.旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)

詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

1.熔爐：±200mm×H167mm （Ni）

2.籃子：6英寸晶圓兼容（Ni）

3.加熱溫度：700°C（常規(guī)500°C）=控制熱電偶指令值

4.溫度 穩(wěn)定性：±1°C

5.功率：?jiǎn)蜗?/strong>AC200V 20A

6.提升機(jī)構(gòu) ：自動(dòng)

7.旋轉(zhuǎn) 機(jī)構(gòu)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)，max10r.p.m

8.熔爐快門機(jī)構(gòu)：機(jī)械打開和關(guān)閉熔爐蓋

9.用于液體溫度測(cè)量的熱電偶垂直機(jī)構(gòu)：熱電偶從待機(jī)位置移動(dòng)到液體溫度測(cè)量位置

10.熔爐蓋機(jī)構(gòu)：安裝自動(dòng)熔爐蓋，以減少蝕刻過(guò)程中的蒸汽泄漏。

11.設(shè)備尺寸：W660xD700xH1720

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