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微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)

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產(chǎn)品簡介

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備，該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進(jìn)行了一系列的改進(jìn)，包括：供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等

詳細(xì)介紹

微型單溫區(qū)CVD系統(tǒng)管式爐是一款小型化學(xué)氣相沉積薄膜類制備設(shè)備，該設(shè)備在常規(guī)產(chǎn)品上進(jìn)行了一系列的改進(jìn)，包括：供氣系統(tǒng)集成、真空系統(tǒng)集成等。體現(xiàn)出體積小、操作方便、智能化程度高等特點(diǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

雙層空氣冷卻鋼殼保持爐表面溫度低于60°C；
高純狀氧化鋁纖維絕緣層，節(jié)約能源；
爐膛和加熱元件上的特殊耐火涂層可延長爐子的使用壽命。

技術(shù)參數(shù)

項(xiàng)目	型號(hào)	TFC - 1200 - 60 -Ⅰ- 440
爐管尺寸		Φ60*1000mm （Φ30/50/80/100mm可選）
可達(dá)溫度		1200℃（短期）
工作溫度		1100℃
推薦升溫速率		≤10℃/min
加熱區(qū)長度		440mm
額定功率		3kW
適配電源		AC220V 50Hz
溫控系統(tǒng)		K型熱電偶集成式觸摸屏控制
控溫精度		±1 ℃
密封系統(tǒng)		爐管兩端配有快開式密封法蘭
外形尺寸		620420580mm
氣體量程		100～1000SCCM
氣路數(shù)量		2～4路（MFC）
氣路工作溫度		5～45℃
VRD-8		承載量：1000Lbs；抽氣速率:10m³/h 極限真空度：10-1Pa
真空度

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