普瑞六氟乙烷工業(yè)氣體分析專用氣相色譜儀

本款為電子工業(yè)用氣體?六氟乙烷 R116（全氟乙烷 C?F?）分析專用氣相色譜儀，基于普瑞 GC?9280 氣相色譜儀主機(jī)開(kāi)發(fā)，配套專用閥系統(tǒng)、色譜柱與 PDHID 氦離子化檢測(cè)器，運(yùn)用中心切割反吹技術(shù)，有效消除高濃度 C?F?主組分過(guò)載干擾，一次性測(cè)定樣品內(nèi)多種痕量雜質(zhì)，檢測(cè)下限可達(dá) ppb 級(jí)別，滿足 GB/T 34091?2017 標(biāo)準(zhǔn)分析需求，廣泛用于電子特氣生產(chǎn)企業(yè)、第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)、半導(dǎo)體原材料質(zhì)檢實(shí)驗(yàn)室。整機(jī) AEFC 全電子流量控制，7 寸觸控操作，重復(fù)性好，支持方法保存、自動(dòng)計(jì)算報(bào)告。

普瑞六氟乙烷工業(yè)氣體分析專用氣相色譜儀

GC-9280型氦離子化氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體及電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)。該產(chǎn)品以GC-9280氣相色譜儀為載體，配備VALCO公司生產(chǎn)的寬量程高靈敏度氦離子化（PDHID）檢測(cè)器；采用色譜中心切割與反吹技術(shù)，其中的所有進(jìn)樣和切換閥均為VALCO公司生產(chǎn)的帶吹掃無(wú)死體積專用閥；可根據(jù)用戶實(shí)際需求制定一套完整的高純氣體分析解決方案。 

儀器特點(diǎn)：

• ? 氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術(shù)成套解決方案

• ? 采用進(jìn)口公司帶He吹掃保護(hù)功能的高性能隔膜閥控制氣路

• ?采用色譜柱管材、填料及接頭均為進(jìn)口材質(zhì)及CO防拖尾處理技術(shù)；

• ?分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭

• ?系統(tǒng)具備多閥多柱的中心切割與反吹技術(shù)，由多個(gè)原裝進(jìn)樣閥和多根VCR色譜柱聯(lián)合組成。

• ?中心切割閥系統(tǒng)采用原裝高性能隔膜閥、原裝EP級(jí)高純氣體管路，自動(dòng)進(jìn)樣、自動(dòng)切割；閥系統(tǒng)和柱系統(tǒng)配備密閉和載氣快速放空功能。

• ?色譜柱系統(tǒng)連接接頭VCR密封接頭，不僅方便連接，而且具有更好的密封性和無(wú)泄漏性，真實(shí)的保證PPb級(jí)別的檢出限。

• ? 多柱箱的應(yīng)用，使色譜分析柱可以單獨(dú)控溫，且可增加冷阱，得到更好的分離度。

• ?寬量程的PDHID放大電路采用對(duì)數(shù)放大器，具有更寬的線性檢測(cè)范圍，分解產(chǎn)物檢測(cè)指標(biāo)能夠檢測(cè)至μg/g（ppb）級(jí)。

• ?斷氣保護(hù)功能，當(dāng)氦載氣壓力低于0.1MPa時(shí)，自動(dòng)關(guān)閉高壓。

• ?帶有溫度補(bǔ)償?shù)?/span>APC控制器具有更高的重現(xiàn)性和穩(wěn)定性，操作方便高效；

• ?采用以太網(wǎng)：IEEE802.3接口通訊，工作站支持MODBUS/TCP協(xié)議，支持網(wǎng)絡(luò)遠(yuǎn)程傳輸及控制功能，可進(jìn)行無(wú)人值守分析、分散監(jiān)測(cè)、集中控制。

部件介紹

1）雙級(jí)純化器系統(tǒng)（PDHID氣路純化器配置）：

前級(jí)純化+內(nèi)置純化（非吸附性純化器，對(duì)于載氣中 H2、O2、N2、 CH4、CO、CO2雜質(zhì)純化后濃度低于10p

純化器Valco 氦氣（HP）純化器的純化基質(zhì)是一種無(wú)揮發(fā)性的吸附性合金，吸附劑粒子表面有一層 氧化膜需通過(guò)加熱活化，活化過(guò)程必須在真空或惰性氣體環(huán)境下完成，這樣可允許氦氣在其間自由擴(kuò)散， 防止氧氣純化層的形成，又可以進(jìn)行雜質(zhì)氣體的吸 附。HP 的吸附劑材料具有良好的熱穩(wěn)定性，包括兩 個(gè)溫度控制范圍。 純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn

操作壓力：1000Psi

去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、 CF4 等

殘留濃度：≤10ppb

2）多柱箱的設(shè)置

對(duì)大部分的應(yīng)用使用獨(dú)立控溫的微柱箱。一個(gè)微柱箱最多可以安裝2 根色譜柱，而微柱箱的裝卸是非常簡(jiǎn)單 的，只要把固定的4個(gè)螺絲取出或固定就可以了。微柱箱是 GC獨(dú)立控制的，所以溫控效果會(huì)非常好，柱箱和柱箱直接沒(méi)有干擾。微柱箱的控溫效果要明顯優(yōu)于大柱箱的效

技術(shù)指標(biāo)

放電離子化檢測(cè)器（PDHID）

 脈沖放電氦離子化檢測(cè)器(PDHID)是一種靈敏度高的通用型檢測(cè)器，對(duì)幾乎所有無(wú)機(jī)和有機(jī)化合物均有很高的響應(yīng)，特別適合高純氣體的分析。

工作原理

   PDHID上部有一個(gè)放電區(qū)，脈沖高壓加在兩個(gè)電極上，產(chǎn)生輝光放電。產(chǎn)生的紫外光使載氣He原子由基態(tài)躍遷到各個(gè)能級(jí)的亞穩(wěn)態(tài)激發(fā)態(tài)，生成亞穩(wěn)態(tài)氦原子He*（23S,19.8eV）氦離子He＋1S2S1/2,24.5eV），這些高能態(tài)的He粒子進(jìn)入下面的電離室與被測(cè)組分的分子碰撞，使其電離成分子離子，在極化電壓的作用下，向離子收集極運(yùn)動(dòng)。收集極接收到被測(cè)組分離子產(chǎn)生微電流，經(jīng)信號(hào)放大器放大后得到一個(gè)與組分濃度相對(duì)應(yīng)的色譜信號(hào)，色譜峰。

◆PDHID是利用氦中穩(wěn)定的，低功率脈沖放電作電離源，使被測(cè)組分電離產(chǎn)生信號(hào)。

◆PDHID是非放射性檢測(cè)器，對(duì)所有物質(zhì)均有高靈敏度的正響應(yīng)。

◆非放射性檢測(cè)器，使用安全

◆檢測(cè)靈敏度高，氣體中雜質(zhì)的最小檢測(cè)濃度達(dá)5ppb

質(zhì)量保證：

自儀器調(diào)試驗(yàn)收合格簽字之日起，我方免費(fèi)提供12個(gè)月的現(xiàn)場(chǎng)保修服務(wù)（回訪）或貨到現(xiàn)場(chǎng)13個(gè)月，先到為準(zhǔn)。保證接到報(bào)修后24小時(shí)以內(nèi)給予響應(yīng)，并在72小時(shí)內(nèi)到達(dá)甲方現(xiàn)場(chǎng)，排除故障，保證良好正常使用。

質(zhì)保期外，積極提供技術(shù)支持及備品備件的及時(shí)供應(yīng)，保證系統(tǒng)功能、硬件的完整性。

儀器提供免費(fèi)技術(shù)支持。

負(fù)責(zé)安裝、調(diào)試、培訓(xùn)等工作

我公司及時(shí)向用戶提供全套的詳細(xì)技術(shù)資料，積極配合做好設(shè)備安裝前的準(zhǔn)備工作。 

設(shè)備到貨后，我公司將派遣專業(yè)的技術(shù)人員到現(xiàn)場(chǎng)提供技術(shù)支持服務(wù)，現(xiàn)場(chǎng)指導(dǎo)設(shè)備的安裝、調(diào)試直到驗(yàn)收合格。                        

在項(xiàng)目的實(shí)施整個(gè)過(guò)程中，由項(xiàng)目經(jīng)理始終貫穿于合同的實(shí)施之中進(jìn)行跟蹤服務(wù)。項(xiàng)目經(jīng)理負(fù)責(zé)對(duì)在場(chǎng)施工人員的調(diào)度安排、協(xié)調(diào)與施工單位配合問(wèn)題，負(fù)責(zé)整體工程技術(shù)問(wèn)題，并聯(lián)絡(luò)甲方施工協(xié)調(diào)配合。把握好施工各環(huán)節(jié)的質(zhì)量關(guān)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，及時(shí)予以解決，并協(xié)助做好項(xiàng)目分階段（隨工）驗(yàn)收工作。

優(yōu)質(zhì)、快捷的技術(shù)服務(wù)為更好地保證設(shè)備的正常運(yùn)行，及時(shí)解答用戶提出的疑問(wèn)，幫助用戶解決問(wèn)題。有效響應(yīng)的技術(shù)支持體系我公司將售后服務(wù)、技術(shù)支持納入公司發(fā)展的規(guī)劃體系，根據(jù)故障級(jí)別和客戶需求，可提供不同級(jí)別的技術(shù)支持和援助。

公司備品備件庫(kù)，備件儲(chǔ)備充足，若需要備件將可隨時(shí)提供。作為北京普瑞分析儀器有限公司的用戶，我們感謝您對(duì)我公司的信賴，您對(duì)我公司的產(chǎn)品有任何建議和要求應(yīng)及時(shí)告知我們，同時(shí)應(yīng)按公司各類產(chǎn)品的使用說(shuō)明書和維護(hù)手冊(cè)進(jìn)行定期維護(hù)，設(shè)備出現(xiàn)故障應(yīng)及時(shí)通知我公司專業(yè)維護(hù)人員，做到及時(shí)發(fā)現(xiàn)及時(shí)處理，并做好設(shè)備運(yùn)行站日常記錄，我們相信通過(guò)雙方的溝通和配合，一定會(huì)維護(hù)好設(shè)備，讓客戶放心、滿意。