掃描電鏡放大倍率校準(zhǔn)圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品 型號(hào):CRM-S1000 金洋萬(wàn)達(dá)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

該標(biāo)樣用于掃描電鏡（包括電子探針等）儀器主要性能的校驗(yàn)和檢驗(yàn)，如圖像的放大倍率檢驗(yàn)與調(diào)整、掃描圖像畸變的調(diào)整、像散調(diào)節(jié)以及樣品臺(tái)的復(fù)位檢驗(yàn)等，是掃描電鏡儀器驗(yàn)收、儀器年度檢驗(yàn)、計(jì)量認(rèn)證、實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可等考核中，的標(biāo)準(zhǔn)樣品。同時(shí)，該標(biāo)準(zhǔn)樣品也是掃描電鏡微米納米長(zhǎng)度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)樣品、是微米長(zhǎng)度測(cè)量的可溯源級(jí)別的量值傳遞工具。是多個(gè)標(biāo)準(zhǔn)文件GB/W 27788、16594、17722、20307、JJG550等實(shí)施所必需的標(biāo)準(zhǔn)樣品。

規(guī)格尺寸：5mm×5mm×0.5mm（長(zhǎng)×寬×厚）

用途：
(1)可用于同時(shí)對(duì)任意兩個(gè)垂直方向上的掃描電鏡的圖像的放大倍率進(jìn)行檢查或校正，是校準(zhǔn)從10×~100,000×范圍的圖像放大倍率的有效的圖形標(biāo)準(zhǔn)樣品
(2)可用于對(duì)圖像的X、Y方向上的畸變和邊緣的畸變進(jìn)行校驗(yàn)，是評(píng)價(jià)掃描電鏡圖像質(zhì)量的個(gè)重要工具
(3)可直接用于同一量級(jí)物體長(zhǎng)度的比對(duì)測(cè)量
(4)對(duì)樣品臺(tái)傾斜角和電子傾斜以及旋轉(zhuǎn)調(diào)整功能的檢驗(yàn)也有較好的作用
(5)利用標(biāo)樣上的“點(diǎn)子"圖像，可對(duì)電子束作漂移檢驗(yàn)和樣品臺(tái)復(fù)位檢驗(yàn)

標(biāo)準(zhǔn)樣品的形狀、規(guī)格和包裝：
S1000微米一亞微米級(jí)系列標(biāo)樣，總體為5mm×5mm0.5mm(長(zhǎng)×寬×厚)大小的小方塊。主體圖形為一個(gè)“回"字形的方框，外框邊長(zhǎng)約為2mm,內(nèi)框的邊長(zhǎng)約為12mm,內(nèi)框里面用X、Y軸分為4個(gè)象限，X、Y軸上制作有垂直坐標(biāo)軸方向的線距20um的短平行線條，4個(gè)象限上分別是線距為40um、20um10um的方格網(wǎng)狀圖形和線距為5um的X、Y雙向平行線條圖形，內(nèi)框的中部又是“回"字形的方框，大框的邊長(zhǎng)約為160m,小框邊長(zhǎng)約50um,大框和小框之間在X方向和Y方向上都有線距為5um的平行線條，小框里面是線距為1um或05um的X、Y雙向平行線條圖形(見(jiàn)圖1)，在5m和1um或05um的線距結(jié)構(gòu)上還有一些十字形和圓點(diǎn)，可用于在較大放大倍率下圖像的聚集和像散調(diào)整，不同的線距大小可用于從10×~10000放大倍率范圍的校準(zhǔn)，而把40um、20μm和10um的線距結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)成方格形，是為了在對(duì)放大倍率進(jìn)行準(zhǔn)確校準(zhǔn)的同時(shí)，可以對(duì)圖像的畸變、像散等進(jìn)行校驗(yàn)，5μm的線距結(jié)構(gòu)也同時(shí)具有X、Y兩個(gè)方向的平行線條，是為了方便同時(shí)對(duì)X、Y兩個(gè)方向進(jìn)行放大倍的準(zhǔn)而不必機(jī)械旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)器。
標(biāo)準(zhǔn)樣品的穩(wěn)定性：
標(biāo)準(zhǔn)樣品基質(zhì)材料為單晶硅或石英玻璃基片，材料性質(zhì)穩(wěn)定。在對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行觀察時(shí)，可看到標(biāo)準(zhǔn)樣品具有良好的導(dǎo)電性，并且在掃描電鏡下所產(chǎn)生的圖形具有很好的對(duì)比度，在掃描電鏡下或光學(xué)顯微鏡下進(jìn)行多次長(zhǎng)時(shí)間的觀察后，未見(jiàn)標(biāo)準(zhǔn)樣品圖形或線距結(jié)構(gòu)發(fā)生變形或其他損壞，即標(biāo)準(zhǔn)樣品在電子束重復(fù)照射下是穩(wěn)定的。

標(biāo)準(zhǔn)樣品的均勻性：
本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的片內(nèi)線距均勻性由德國(guó)聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺(tái)大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡( M-LRSFM進(jìn)行測(cè)量，40um、20um、10um和5um的線距結(jié)構(gòu)的相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為<0.15% lt;0.25% lt;0.3% lt;0.5%和<1%；片間線距的均勻性送有色金屬及電子材料分析測(cè)試中心掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室進(jìn)行檢查，隨機(jī)取10個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品，在相同掃描電鏡工作條件下獲取每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品上每種線距結(jié)構(gòu)的圖像，在每個(gè)圖像上的不同位置取若干個(gè)線距周期測(cè)量4個(gè)長(zhǎng)度數(shù)據(jù)，

其測(cè)量結(jié)果標(biāo)準(zhǔn)偏差分別為 lt;0.39% lt;0.19% lt;0.21%和<0.19%
標(biāo)準(zhǔn)值和置信限：

本系列標(biāo)準(zhǔn)樣品的線距值由德國(guó)聯(lián)邦物理研究所(PTB)使用一臺(tái)大范圍計(jì)量型掃描力顯微鏡(M- LRSFM)進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量結(jié)果可直接溯源至米定義計(jì)量基準(zhǔn)。各線距結(jié)構(gòu)的測(cè)量值分別為：400006±42nm(X方向)、400018±4.2nm(Y方向)、200004±1.8nm(X方向)、200000±1.8nm(Y方向)、100002±0.5mm(X方向)、100000±0.5mm(Y方向)、500000.6mm(X方向)、50003±0.6mm(Y方向)、1000.4±0.7nm(X方向)1000.4±0.7mm(Y方向)，置信限為95%，k=2。

測(cè)試：

測(cè)量范圍：線間隔結(jié)構(gòu)—（0-50）μm

不確定度/準(zhǔn)確度等級(jí)：Ｕ=（1+2*10-3*p）nm，k=2（Ｐ-nm）

樣板外觀：良好

測(cè)量方位：對(duì)樣塊中量值的柵格間距區(qū)域，進(jìn)行多次重復(fù)測(cè)量

公司承諾：質(zhì)量服務(wù)承諾：

1.質(zhì)保期一年，終生免費(fèi)維護(hù)。

2.在質(zhì)保期內(nèi)，除人為因素外，任何因儀器設(shè)計(jì)、材料或工藝不當(dāng)引起的缺陷、故障我們免費(fèi)修理或更換。

3.接到用戶通知所提供的儀器出現(xiàn)故障后，十分鐘內(nèi)回應(yīng).

4.保證及時(shí)向用戶以優(yōu)惠的價(jià)格提供所需的備品備件和易