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真空充氮烤箱

來源:東莞市豪恩檢測儀器有限公司(武漢分公司)   2026年04月20日 10:07  

豪恩真空充氮烤箱是一款集成真空除氧、氮?dú)獗Wo(hù)精密控溫于一體的工業(yè)高溫處理設(shè)備,核心是為易氧化材料提供無氧、干燥、潔凈的恒溫環(huán)境,解決高溫烘烤中的氧化、變色、起泡、脆化等問題,廣泛用于電子、新能源、金屬、光電等精密制造領(lǐng)域。

真空充氮烤箱.png

   

雙層真空充氮烤箱.jpg

一、核心工作原理

采用 “真空抽取→氮?dú)庵脫Q→加熱循環(huán)→動(dòng)態(tài)平衡” 四步閉環(huán)工藝:
  1. 真空抽取:內(nèi)置 / 外置真空泵快速將箱內(nèi)抽至高真空(0~-100kPa,極限≤265Pa),排盡氧氣、水汽與殘留空氣。

  2. 氮?dú)庵脫Q:充入99.99%~99.999% 高純氮?dú)?/span>,將氧含量降至 **≤100ppm(可選≤10ppm)**,形成惰性保護(hù)氛圍。

  3. 加熱循環(huán):翅片式加熱管 + 強(qiáng)制熱風(fēng)循環(huán)(水平 / 垂直送風(fēng)),配合PID+SSR 智能控溫,實(shí)現(xiàn) **±1℃** 級(jí)溫度均勻性。

  4. 動(dòng)態(tài)平衡:微正壓持續(xù)充氮 + 自動(dòng)排氣,防止外界空氣滲入,同時(shí)排出濕氣與溶劑廢氣。

二、結(jié)構(gòu)與規(guī)格參數(shù)

1. 箱體結(jié)構(gòu)

  • 內(nèi)箱材質(zhì)SUS304/316 鏡面不銹鋼,滿焊工藝,耐酸堿、易清潔、無粉塵污染。

  • 外箱材質(zhì):SECC 鋼板 + 高級(jí)烤漆,堅(jiān)固防銹。

  • 密封系統(tǒng):多層耐高溫氟橡膠 / 纖維密封條,真空保壓強(qiáng)、氮?dú)庑孤┞蕵O低。

  • 門體:單 / 雙開門,配鋼化玻璃視窗(可選)+ 安全聯(lián)鎖,加厚保溫層。

  • 結(jié)構(gòu)形式:一體式(內(nèi)置真空泵)、分體式(外置真空泵)。

  • 腳輪:萬向帶剎車,移動(dòng)定位便捷。

2. 核心技術(shù)參數(shù)(豪恩標(biāo)準(zhǔn)系列)

  • 溫度范圍:RT+10℃~200℃/250℃/300℃(定制可達(dá) 500℃)

  • 控溫精度±0.5℃;溫度均勻度:±1℃~±2℃

  • 真空度0~-100kPa(可選高真空≤1Pa)

  • 氮?dú)饧兌?/span>:≥99.99%(用戶自備)

  • 氮?dú)鈮毫?/span>:3~4Kg/cm2;流量:10~100L/min(精密可調(diào))

  • 內(nèi)箱尺寸:30×30×30cm~100×100×100cm(可非標(biāo)定制)

  • 電源:AC220V 50Hz / AC380V 50Hz;功率:3.5KW~20KW

  • 控制方式:按鍵面板 / PLC 觸摸屏,可程式設(shè)定(多段升溫 / 保溫 / 降溫)

三、核心功能與優(yōu)勢

1. 防氧化

  • 真空 + 充氮雙重?zé)o氧環(huán)境,杜絕氧化、發(fā)黑、泛黃、焊盤腐蝕、金屬脆化、樹脂碳化等缺陷。

  • 適用于裸芯片、金線 / 銅線、銀膠、LED 熒光粉、鋰電池材料等敏感材質(zhì)。

2. 高效除水脫泡

  • 真空低壓環(huán)境加速水分 / 溶劑揮發(fā),干燥效率比普通烘箱高 30%~50%

  • 適用于 PCB、陶瓷基板、芯片除潮,固晶膠 / 銀膠固化脫泡,避免爆板、分層、氣孔。

3. 精準(zhǔn)溫控與節(jié)能

  • PID+SSR 無觸點(diǎn)控制,溫度波動(dòng)≤±0.5℃,溫場均勻。

  • 加厚高密度保溫層 + 熱風(fēng)循環(huán),升溫快、熱損耗小、節(jié)能 30%+。

4. 安全與智能

  • 多重保護(hù):超溫?cái)嚯姟⑦^流保護(hù)、真空壓力保護(hù)、氮?dú)猱惓?bào)警、防爆排氣閥。

  • 實(shí)時(shí)監(jiān)控:溫度、真空度、氮?dú)饬髁?、氧濃度(可選),數(shù)據(jù)可記錄導(dǎo)出。

5. 潔凈環(huán)保

  • 全不銹鋼內(nèi)腔 + 密封設(shè)計(jì),無粉塵、無二次污染,滿足 Class 100 級(jí)潔凈室要求。

四、主要應(yīng)用領(lǐng)域

  1. 電子半導(dǎo)體:芯片 / 晶圓烘烤、IC 封裝固化、PCB/PCB 板除濕除應(yīng)力、SMT 濕敏元件(MSL)復(fù)烤、LED / 光電元件防氧化處理。

  2. 新能源電池:鋰電池正 / 負(fù)極材料煅燒、電芯 / 極片真空干燥、隔膜除水、電池極耳防氧化退火。

  3. 金屬與精密加工:鈦合金 / 銅 / 鋁等有色金屬熱處理、粉末冶金燒結(jié)、金屬零件防氧化回火、貴金屬退火。

  4. 光電與陶瓷:陶瓷基板 / 元件燒結(jié)、石英晶體干燥、光學(xué)鏡片鍍膜前處理。

  5. 其他:醫(yī)藥中間體干燥、精密傳感器除潮、復(fù)合材料固化、科研實(shí)驗(yàn)無氧高溫處理。

五、標(biāo)準(zhǔn)使用步驟

  1. 準(zhǔn)備:放入物料→關(guān)門→檢查密封→連接氮?dú)庠磁c真空泵。

  2. 抽真空:啟動(dòng)真空泵,抽至設(shè)定真空度后關(guān)閉抽氣閥。

  3. 充氮?dú)?/span>:打開氮?dú)忾y,充入氮?dú)庵廖⒄龎海?.02~0.05MPa),可反復(fù)置換 2~3 次提升純度。

  4. 加熱運(yùn)行:設(shè)定溫度 / 時(shí)間→啟動(dòng)加熱→熱風(fēng)循環(huán)恒溫處理。

  5. 結(jié)束冷卻:到達(dá)時(shí)間后停止加熱,自然冷卻至 60℃以下。

  6. 出料:緩慢放氣→開門→取出物料。

六、保養(yǎng)與維護(hù)

  1. 日常:每次使用后清潔內(nèi)箱、門封條,無雜物殘留。

  2. 每周:檢查真空泵油位,油液渾濁時(shí)更換;清潔氮?dú)膺^濾器。

  3. 每月:檢查門封條密封性,破損及時(shí)更換;校驗(yàn)溫度傳感器精度。

  4. 每季度:檢查真空管路、氮?dú)夤苈酚袩o泄漏;清潔循環(huán)風(fēng)扇與加熱管表面灰塵。

  5. 年度:整機(jī)電氣安全檢測,更換老化電氣元件與密封件。

七、選型要點(diǎn)

  • 溫度需求:常規(guī)≤300℃;高溫材料選 500℃定制型。

  • 真空度:普通除水用 - 0.095MPa;精密芯片 / 金屬用高真空≤10Pa。

  • 氧含量:常規(guī)≤100ppm;芯片 / 貴金屬選≤10ppm。

  • 尺寸:按物料大小與產(chǎn)量選內(nèi)箱尺寸,支持非標(biāo)定制。

  • 控制:基礎(chǔ)用按鍵版;制程用 PLC 觸摸屏 + 程式編程。













雙層真空充氮烤箱.jpg


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