隨著智能機器人與可穿戴式電子器件技術(shù)的發(fā)展，柔性觸覺傳感器的應(yīng)用需求將會越來越大，柔性觸覺傳感器產(chǎn)業(yè)化需求迫切。柔性觸覺傳感器按照測力機理的不同主要分為：柔性壓力傳感器、柔性應(yīng)變傳感器、柔性濕度傳感器、柔性氣體傳感器、柔性溫度傳感器、柔性熱流量傳感器和柔性磁阻抗傳感器等，其中，柔性電容式傳感器由于高靈敏度、高精度以及動態(tài)響應(yīng)好等優(yōu)點而獲得了廣泛的關(guān)注，是目前研究和應(yīng)用廣泛的一類柔性觸覺傳感器產(chǎn)品。機器人觸覺傳感器的研究始于20世紀70年代，是在智能機器人的發(fā)展下而興起的一個傳感器細分行業(yè)。發(fā)展初期的機器人觸覺傳感器觸覺的工作原理主要以壓阻式和電感式為主，結(jié)構(gòu)較為簡單。2000年以來，隨著MEMS技術(shù)、新材料和新工藝的發(fā)展，觸覺傳感器開始向柔性化、輕量化、高陣列、高靈敏度的方向發(fā)展，出現(xiàn)了柔性觸覺傳感器，相應(yīng)的應(yīng)用領(lǐng)域也獲得了較大的擴展，柔性電容式傳感器由于高靈敏度、高精度以及動態(tài)響應(yīng)好等優(yōu)點而獲得了廣泛的關(guān)注，是目前研究和應(yīng)用廣泛的一類柔性觸覺傳感器產(chǎn)品。除了智能機器人領(lǐng)域外，柔性觸覺傳感器在工業(yè)設(shè)備、、消費電子、體育器材、紡織行業(yè)、航空航天、環(huán)境勘測等領(lǐng)域獲得了廣泛應(yīng)用。