Advanced Energy Industries, Inc.成立于1981年，總部位于美國科羅拉多州，是一家專注于精密電源轉換、測量和控制解決方案的全球化企業(yè)。該公司在等離子體電源輸送與控制領域擁有超過四十年的技術沉淀，其產(chǎn)品廣泛服務于半導體、平板顯示器、太陽能光伏和數(shù)據(jù)存儲等高科技制造行業(yè)。

優(yōu)勢

Cesar系列具備豐富的頻率與功率選擇，可覆蓋2 MHz、4 MHz、13.56 MHz、27.12 MHz及40.68 MHz等多種工業(yè)、科學和醫(yī)療頻段，功率等級從300 W至5 kW不等。Cesar 1330以13.56 MHz的標準工業(yè)頻率運行，適配絕大多數(shù)半導體和等離子體工藝設備。

產(chǎn)品采用先進的開關模式技術，搭載高效諧振開關概念，可將功率調(diào)節(jié)至大范圍輸出阻抗，在高功率輸出的同時降低能量損耗。設備支持多種運行模式，包含正向功率調(diào)節(jié)、負載調(diào)節(jié)等，可在不同工況下保持穩(wěn)定工作狀態(tài)。

設備搭載智能保護與故障管理功能，集成過壓保護、過流保護、短路保護和過熱關機保護等多重安全特性，可通過系統(tǒng)互鎖接口集成到更大的設備安全回路中，提升使用安全性。產(chǎn)品配備豐富的互聯(lián)選項與友好的人機交互界面，支持遠程監(jiān)控與現(xiàn)場操作，大功率機型可選用水冷設計，保障連續(xù)運行穩(wěn)定性。

參數(shù)

應用領域

產(chǎn)品可應用于等離子體增強化學氣相沉積、物理氣相沉積、反應性離子刻蝕、濺射、等離子體表面處理、CO?激光系統(tǒng)等工藝場景，適配半導體、電子制造等工業(yè)領域使用需求。