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隨著半導(dǎo)體、生物化學(xué)等領(lǐng)域?qū)に嚰兌鹊囊蟛粩嗵嵘芰黧w系統(tǒng)中的連接件正承擔(dān)著越來(lái)越重要的角色。沅亨(JPE)推出VMS金屬墊片面密封接頭系列,為高純度氣體和流體輸送提供高等級(jí)密封解決方案。

金屬對(duì)金屬密封,高等級(jí)泄漏控制
VMS全稱為Vacuum Metal Seal,工作原理是通過(guò)內(nèi)外螺紋螺母的接合,使金屬墊片在兩邊的凸緣壓緊下產(chǎn)生變形,從而實(shí)現(xiàn)金屬對(duì)金屬的硬密封。在JPE廠內(nèi)氦氣泄漏測(cè)試中,使用無(wú)鍍銀墊片時(shí)最大泄漏率達(dá)到4.1×10?11 mbar·l/s,鍍銀墊片測(cè)試結(jié)果為4.1×10?? mbar·l/s,可覆蓋從真空負(fù)壓至正壓范圍內(nèi)的無(wú)泄漏服務(wù)需求。
精密表面處理,高純應(yīng)用適配
VMS接頭的接管及本體均經(jīng)過(guò)精密表面處理,標(biāo)準(zhǔn)拋光等級(jí)達(dá)到Ra 0.25μm。較低的表面粗糙度可減少顆粒和雜質(zhì)的附著,有利于高純系統(tǒng)的吹掃與維護(hù)。
雙測(cè)試端口設(shè)計(jì),便捷泄漏檢測(cè)
VMS自帶兩個(gè)測(cè)試端口,用戶無(wú)需拆卸系統(tǒng)即可直接進(jìn)行泄漏測(cè)試,有助于簡(jiǎn)化設(shè)備的安裝驗(yàn)收與定期維護(hù)流程。
全程可追溯,質(zhì)量管控有保障
每個(gè)VMS接頭均標(biāo)記了制造商、材料牌號(hào)及制程可追溯號(hào)碼。從原材料到制造工序,產(chǎn)品質(zhì)量具備完整的可追溯性,為半導(dǎo)體等行業(yè)的質(zhì)量管控提供支持。
內(nèi)螺紋鍍銀處理,提升安裝可靠性
螺母內(nèi)螺紋采用鍍銀工藝,有效降低裝配時(shí)的摩擦系數(shù),減少螺紋卡咬和磨損風(fēng)險(xiǎn)。這一設(shè)計(jì)特別適用于需要反復(fù)拆裝維護(hù)的高純系統(tǒng)。
材料純凈可靠
VMS采用純凈316L不銹鋼材質(zhì),可服務(wù)半導(dǎo)體、生物化學(xué)等高純度應(yīng)用領(lǐng)域,適用于惰性氣體、特殊氣體及高純化學(xué)品輸送等場(chǎng)景。
JPE研發(fā)團(tuán)隊(duì)持續(xù)專注于產(chǎn)品類別的擴(kuò)大和高精度產(chǎn)品質(zhì)量的提升。VMS系列的推出,標(biāo)志著JPE在面向半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥等高純應(yīng)用領(lǐng)域的流體連接解決方案上邁出了重要一步。
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