對于產(chǎn)品表面粗糙度表征，現(xiàn)在主要的表征參數(shù)有：

l 輪廓算術平均偏差 Ra：在取樣長度內(nèi)輪廓偏距值的算術平均值。

l 輪廓高度 Rz：輪廓峰頂線和谷底線之間的距離。

l 輪廓波峰高度Rp：在取樣長度內(nèi)，相對于平均線的峰值。

l 相對于輪廓平均線偏差的均方根值Rq：在取樣長度上是相對于輪廓平均線偏距平方和的平均值的平方根。

l 輪廓單元的平均寬度RSM：在取樣長度內(nèi)，輪廓微觀不平度間距的平均值。

對于表面大范圍的粗糙度數(shù)據(jù)測量分析，需要將不同視野范圍的圖像進行拼接， Leica Scan 軟件進行多視野拼接的特點是：

1. 提供快速圖像概覽功能，對觀察樣品的整體把握，準確定位測試區(qū)域；

2. 提供多種拼接圖形選擇，根據(jù)樣品具體情況靈活選擇，提高大范圍拼接速度；

3. 靈活設置拼接區(qū)域，確保測量的準確有效。

對多個視野拼接的大范圍表面粗糙度數(shù)據(jù)分析，Leica MAP軟件粗糙度分析的特點：

1. 提供多種樣品校平方法，有效對圖像進行校平處理；

2. 靈活的圖像提取方法，可對拼接測量后的圖像進行靈活、快速、準確的區(qū)域提取；

3. 提供多種粗糙度分析標準，可以根據(jù)分析需要選擇相應標準，選擇分析感興趣的粗糙度參數(shù)，確保分析的準確有效。

非接觸式測量分析粗糙度數(shù)據(jù)，可以實現(xiàn)對產(chǎn)品表面全無損的測試，測試速度快，測試結(jié)果準確可靠。