電容膜片真空計的重大發(fā)展

來源：深圳市科銳詩汀科技有限公司 2013年10月28日 11:25

近年來，電容式薄膜真空計取得了重大進展，新型的雙電容式薄膜真空計的問世，提高了該類真空計的精度，擴展了測量范圍，使其測量下限可達lO-3Pa。根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真空計稱為電容式薄膜真空計，它由電容式薄膜規(guī)管（又稱為電容式壓力傳感器）和測量儀器兩部分組成。根據(jù)測量電容的不同方法，儀器結(jié)構(gòu)有偏位法和零位法兩種。零位法是一種補償法，具有較高的測量精度。目前在計量部門作為低真空副標(biāo)準(zhǔn)真空計的就是采用零位法結(jié)構(gòu)。

電容式薄膜規(guī)管的中間裝著一張金屬彈性膜片，在膜片的一側(cè)裝有一個固定電極，當(dāng)膜片兩側(cè)的壓差為零時，固定電極與膜片形成一個靜態(tài)電容C0，它與電容C1串聯(lián)后作為測量電橋的一條橋臂，電容C2、C3和C4與C5的串聯(lián)電容組成其它三條橋臂。

電容膜片真空計屬于高精度溫度補償型真空計，在苛刻的生產(chǎn)環(huán)境中具有穩(wěn)定的性能。數(shù)字電子學(xué)提高真空計的性能和易于使用的特點。如一鍵調(diào)零功能和設(shè)點調(diào)整?？垢g性的超純陶瓷傳感器具有的零點穩(wěn)定性與預(yù)期數(shù)百萬次壓強周期包括大氣沖擊的長使用壽命。*的傳感器屏蔽（技術(shù)）保護真空計防止過程污染。堅固耐用的機械結(jié)構(gòu)和數(shù)字電子學(xué)加強了EMC兼容性，長期穩(wěn)定性和溫度補償性。CDG025D真空計為從電源接通后的快速穩(wěn)定與暴露大氣壓后快速恢復(fù)等特性設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。

電容膜片真空計優(yōu)點：全刻度范圍從100毫乇。。。1000乇。電源接通后快速穩(wěn)定。暴露大氣壓后快速恢復(fù)。抗腐蝕性陶瓷傳感器。的長期訊號穩(wěn)定性。溫度補償。保護傳感器防止污染。一鍵調(diào)零功能。寬范圍電源。兩個設(shè)點。RS232接口。符合清潔室條件。

電容膜片真空計用途：在要求高的應(yīng)用中用于和快速的壓強測量；用于刻蝕，CVD，PVD，ALD等半導(dǎo)體制造設(shè)備。數(shù)據(jù)貯存和顯示制造設(shè)備。工業(yè)真空設(shè)備。一般高精度壓強測量。

電容膜片真空計特點：任意方向安裝；放空快速響應(yīng)，縮短周期時間；快速與可靠的讀值，無需大氣壓調(diào)節(jié)；單一對數(shù)/線性模擬輸出訊號，易于工藝集成；小型結(jié)構(gòu)，節(jié)省有價值的工藝空間

深圳市科瑞詩汀科技有限公司專注于真空及鍍膜設(shè)備行業(yè)，致力于把世界上的真空產(chǎn)品和設(shè)備引進中國，為客戶創(chuàng)造更多的價值。誠信為廣大客戶提供的服務(wù), 在真空、光學(xué)、電子、半導(dǎo)體、平板顯示、LED、太陽能等相關(guān)領(lǐng)域，我們與客戶緊密合作，共贏發(fā)展，擁有了大量的合作伙伴。

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