純水的測(cè)量與監(jiān)控

半導(dǎo)體制造過(guò)程中需要使用大量的純水進(jìn)行清洗晶圓、沖洗電子元件、蝕刻等操作，在純水處理過(guò)程中，常常需要精確地測(cè)量液體流量，如在反滲透(RO)過(guò)程中，需測(cè)量濃縮液的流速，以控制濃縮比及防止膜結(jié)垢，通過(guò)持續(xù)監(jiān)測(cè)水的流速，也可監(jiān)控RO設(shè)備的性能，及時(shí)發(fā)現(xiàn)可能的故障或異常；在去離子交換（DI）過(guò)程，會(huì)使用離子交換樹(shù)脂去除水中的離子，此時(shí)需要監(jiān)測(cè)流經(jīng)樹(shù)脂的水流速、反洗液體流經(jīng)樹(shù)脂的速度的流速，以確保確保樹(shù)脂得到充分的接觸時(shí)間，以有效去除離子。另外，在純水制程的化學(xué)添加階段也需精準(zhǔn)控制藥劑用量，如測(cè)量消毒劑（氯、二氧化氯、臭氧等）用量，確保水中微生物的去除作業(yè)，或是pH 調(diào)節(jié)劑用量，以確保水質(zhì)穩(wěn)定性。由此可見(jiàn)，純水處理作業(yè)對(duì)于液體流速測(cè)量，以及測(cè)量工具的耐化學(xué)性，有相應(yīng)嚴(yán)苛使用標(biāo)準(zhǔn)。

| 在去離子交換(DI)過(guò)程反滲透(RO)過(guò)程，監(jiān)測(cè)液體的流速可以確保純水品質(zhì)，監(jiān)控設(shè)備性能

實(shí)際案例：中國(guó)臺(tái)灣晶圓代工大廠

情況：該廠為專業(yè)之水處理系統(tǒng)規(guī)劃設(shè)計(jì)之工程公司，業(yè)務(wù)范圍包括超純水系統(tǒng)、廢水回收、廢水處理工程等，在純水處理的階段，因?yàn)榧兯粚?dǎo)電，無(wú)法使用常見(jiàn)的電磁式流量計(jì)，該公司欲選擇超聲波流量計(jì)，但是市面上常見(jiàn)的超聲波流量計(jì)安裝及設(shè)定步驟困難繁瑣，且需要定期補(bǔ)充超聲波膏，使用體驗(yàn)不佳，并且在純水處理階段的作業(yè)中，該公司也需要選擇能夠精確測(cè)量液體的微小流量，并具備良好耐化學(xué)性的測(cè)量工具。

解決方案：LORRIC的超聲波流量計(jì)