9 個 9 的超純氫氣露點(diǎn)大概是多少？

來源：珠海歐伯特測控技術(shù)有限公司 2026年09月20日 10:28

? 9N 氫氣（99.9999999%，9 個 9，半導(dǎo)體電子級超純氫）

9N：總雜質(zhì)只有 10ppb，水是其中一項雜質(zhì)，水分一般控制在 ≤1 ppb (v)，對應(yīng)常壓露點(diǎn)大約 -100℃ 左右

純度分級對照（方便你對比）

6N（99.9999%）：水≤0.5 ppmv，露點(diǎn)≤-85℃（國標(biāo) GB/T3634.2）
7N（99.99999%）：水通常 ≤100 ppb，露點(diǎn)≈-92℃
8N（99.999999%）：水≤10 ppb，露點(diǎn)≈-98℃
9N（99.9999999%）：水≤1 ppb，露點(diǎn)≈-100℃

?? 關(guān)鍵點(diǎn)：
露點(diǎn)是壓力相關(guān)！ 上面數(shù)值是常壓（1bar）露點(diǎn)；壓力越高，同等水含量，露點(diǎn)越高。
9N 屬于半導(dǎo)體特氣，不是國標(biāo)常規(guī)分級，國標(biāo)最高只定義到 6N（99.9999%），9N 指標(biāo)是 SEMI 半導(dǎo)體行業(yè)企業(yè)規(guī)格。
9N 氫氣的水分只是全部雜質(zhì)里的一部分，其余雜質(zhì)（O?、N?、CO、CO?等）合計也要控制在 10ppb 以內(nèi)，水分不一定剛好等于 1ppb。

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9 個 9 的超純氫氣露點(diǎn)大概是多少？

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