結構與配置

1. **爐管**

   - ≤1200℃：高純石英管（透明，可觀察樣品，易清洗）

   - 1200～1700℃：99 高純剛玉管（耐高溫，不透明）

   - 兩端：KF 真空法蘭、氟橡膠 O 型圈，密封性能好，可承受負壓

2. **加熱元件**

   - ≤1200℃：鎳鉻 / 鐵鉻鋁電阻絲

   - 1400℃：硅碳棒

   - 1600~1700℃：硅鉬棒

3. **真空系統(tǒng)**

   - 標配：旋片式機械泵，極限真空一般 **-0.095MPa（約 10Pa）**

   - 升級：機械泵 + 分子泵，實現(xiàn)高真空（10?3~10??Pa）

   - 配套：真空表、真空閥門、放氣閥，實時觀察真空度

4. **氣路系統(tǒng)**

氣瓶→減壓閥→流量計（浮子 / MFC）→進氣法蘭；出氣帶尾氣瓶，可觀察氣泡、防止空氣倒吸。常用保護氣：氮氣 N?、氬氣 Ar。

5. **溫控系統(tǒng)**

PID 可編程溫控儀，多段程序升溫 / 保溫 / 降溫；熱電偶測溫，帶超溫、斷偶、過載保護，控溫精度 ±1℃。

## ? 工作原理

工藝為**真空置換法**，目的是排掉爐管內氧氣、水汽：

1. 樣品放入爐管，鎖緊兩端真空法蘭，形成密閉腔體；

2. 開啟機械泵抽真空，抽出爐管內空氣；抽到設定真空度后，關閉真空泵；

3. 通入保護氣體（氮氣 / 氬氣）至微正壓，完成一次置換；一般重復**2～3 次抽真空 + 充氣**，把殘余氧降到很低；

4. 升溫熱處理，全程保持爐管**微正壓通氣**，阻止外界空氣倒灌氧化樣品；

5. 保溫結束，按程序降溫；待爐體冷卻至安全溫度，緩慢放氣，取出樣品。

 兩種工藝模式：

> ① 真空置換 + 保護氣氛（常用）；② 直接真空保溫熱處理（不充氣）