## 1. 密閉腔體與真空 / 氣氛置換

爐管（石英 / 剛玉管）兩端采用**KF 高真空法蘭 + 氟橡膠密封圈**密封，形成密閉反應(yīng)腔體。

- **高真空模式**：真空泵組抽取爐管內(nèi)部空氣，移除氧氣、水汽等氣體，實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境；

- **真空置換氣氛模式**：多次執(zhí)行「抽真空→充入高純氮?dú)?/ 氬氣」循環(huán)，大程度降低管內(nèi)殘余氧含量，維持微正壓惰性氣氛，隔絕氧氣，防止樣品氧化。

## 2. 電阻輻射加熱

加熱元件（電阻絲 / 硅碳棒 / 硅鉬棒）通電產(chǎn)生焦耳熱，以**熱輻射**的方式加熱爐管；爐膛的陶瓷纖維保溫層鎖住熱量，在爐管內(nèi)部形成一段穩(wěn)定、溫度均勻的恒溫區(qū)。

## 3. 閉環(huán)溫度自動(dòng)控制

熱電偶實(shí)時(shí)采集爐內(nèi)溫度，將溫度信號(hào)傳輸至可編程 PID 溫控儀；溫控儀對(duì)比設(shè)定溫度與實(shí)測(cè)溫度，自動(dòng)調(diào)節(jié)加熱輸出功率，按照預(yù)設(shè)程序完成**升溫、保溫、可控降溫**，精準(zhǔn)控制整個(gè)熱處理工藝。

## 4. 樣品熱處理過程

樣品放置在爐管恒溫區(qū)內(nèi)，在高真空或者高純惰性氣氛的低氧環(huán)境下，在設(shè)定高溫下完成燒結(jié)、退火、晶化、固相反應(yīng)、CVD 薄膜生長(zhǎng)；全程隔絕氧氣，避免樣品氧化、脫碳、引入雜質(zhì)，實(shí)現(xiàn)材料微觀結(jié)構(gòu)與性能調(diào)控。