在許多行業(yè)的元件制造過程中，如半導(dǎo)體元件，光學(xué)鏡片和LCD面板，不允許在空氣中有太多的灰塵顆粒; 對于制造過程中的某些步驟，例如半導(dǎo)體，在清潔，載流子傳輸操作或涂覆光致抗蝕劑的過程中，由于空氣中的顆粒會影響產(chǎn)品的質(zhì)量并造成顯著的損失。所以需要在無塵室中進行工作。然而無塵室里還是會有極少量的灰塵，這些灰塵的產(chǎn)生，除了因空氣對流，還有可能來自于物品耗材（例如手套，口罩）與人體產(chǎn)生（例如皮膚表面的死皮細(xì)胞）。 在無塵室中，某些氣流死角區(qū)域還是會慢慢堆積微塵。若空氣因擾動，這些空降的微塵粒子將直接掉落在產(chǎn)品或人體表面上，而不會被粒子計數(shù)器檢測到。這些不易漂浮在無塵室空氣中的灰塵顆粒， 當(dāng)它們由于靜電或極性聚集在一起時，便很難將這些粘性灰塵吹到排氣口。不僅空氣濾清器對于此類黏著性粉塵的收集效率低，微粒計數(shù)器（Particle Counter）也難以計數(shù)(感知)，黏著性粉塵一旦黏附在重要表面（例如光罩）可能影響良率（線徑越細(xì)，影響程度越高）。 若作業(yè)員在一般（白光）照明下，難以區(qū)別微塵粒子與背景時，自然無法有效清除灰塵，進而影響良率造成損失。為此，在無塵室中，若能使用特定波長或低角度準(zhǔn)直光源的檢測工具，將可有效檢視出在產(chǎn)品上的黏著性粉塵，進而降低不良率。