半導(dǎo)體制造對水質(zhì)的要求高到"近乎苛刻"——芯片清洗、光刻、刻蝕、拋光等工序都要用到超純水（UPW，Ultrapure Water），其電阻率要求達(dá)到 18.2 MΩ·cm，接近理論純水的極限。在這樣一套系統(tǒng)里做流量測量，選什么流量計，直接關(guān)系到水質(zhì)會不會被破壞、系統(tǒng)能不能不停機(jī)運(yùn)行。業(yè)內(nèi)給出的主流答案是：外夾式超聲波流量計。

超純水給流量計出了兩道難題

• 超純水"幾乎不導(dǎo)電"。電磁流量計的原理要求被測液體具備一定電導(dǎo)率，而超純水的電導(dǎo)率極低（接近絕緣體），電磁流量計在純水、超純水工況下根本無法正常工作。這是很多用戶容易踩的坑。

• 超純水"一點(diǎn)都不能污染"。任何與介質(zhì)接觸的傳感器，都可能引入金屬析出、死角殘留、細(xì)菌滋生或微小顆粒，破壞水質(zhì)。插到管內(nèi)的探頭、轉(zhuǎn)動的葉輪、節(jié)流元件，在這種場合都不合適。

外夾式超聲波流量計正好"破解"這兩題

外夾式超聲波流量計（時差法）靠聲波測流速，不依賴介質(zhì)導(dǎo)電性，也不接觸介質(zhì)：

• 不依賴電導(dǎo)率——純水、超純水再"純"，聲波照樣穿過，測量不受影響；

• 非接觸、無污染——換能器貼在管外，介質(zhì)全程封閉流動，無死區(qū)、無殘留、無析出風(fēng)險；

• 不停產(chǎn)、免開孔——超純水系統(tǒng)常年連續(xù)運(yùn)行，外夾式可直接在現(xiàn)有管道上加裝，無需停機(jī)改造。

此外，超純水系統(tǒng)管路管徑往往較大，外夾式對大管徑的適配成本遠(yuǎn)低于其他方式，這也是它被普遍選用的現(xiàn)實(shí)原因。

半導(dǎo)體超純水系統(tǒng)里，哪些點(diǎn)位常用它

• RO 反滲透產(chǎn)水、EDI 出水、拋光混床產(chǎn)水：潔凈水質(zhì)流量監(jiān)測；

• UPW 循環(huán)主管路：保證循環(huán)流量、避免死水；

• 工藝?yán)鋮s水、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)；

• 研磨廢水、含氟廢酸等廢水外排的大管徑計量。

這些點(diǎn)位對"不斷流、不污染、免維護(hù)"的要求，外夾式超聲波流量計可以發(fā)揮出自身優(yōu)勢。

選型時要注意什么

外夾式超聲在超純水系統(tǒng)應(yīng)用時，有幾個注意點(diǎn)：

• 優(yōu)先選時差法機(jī)型，介質(zhì)潔凈、氣泡少，測量穩(wěn)定；

• 確認(rèn)管道材質(zhì)（PVDF、PFA、不銹鋼等）和壁厚直接關(guān)聯(lián)精度；

• 選擇無需耦合劑的外夾式超聲波流量計，減少耗材成本；

Sonotec 外夾式超聲波流量計 SEMIFLOWCO.65 適用半導(dǎo)體行業(yè)

采用非接觸式外夾（clamp-on）測量架構(gòu)，傳感器卡在硬質(zhì)塑料管外壁，與被測液體零接觸：

• 杜絕污染與泄漏：流體不流經(jīng)傳感器，無接液部件、無活動件，超純水、化學(xué)品不會被污染，也不存在密封失效導(dǎo)致的泄漏風(fēng)險；

• 加裝 / 更換不停產(chǎn)：不需要斷管、不需要排空管路、更不需要停機(jī)，設(shè)備改造或傳感器更換時產(chǎn)線照常運(yùn)轉(zhuǎn)，直接拉高整線稼動時間；

• 適配半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)管路材質(zhì)：專為 PFA、PTFE 等硬質(zhì)塑料管設(shè)計（也覆蓋 PA、PU 等均質(zhì)硬質(zhì)塑料管），與晶圓廠、化學(xué)品供液（CDS）系統(tǒng)的管路材質(zhì)天然匹配。

SEMIFLOWCO.65 核心性能：

北京空港北光儀表有限公司 —— SONOTEC 超聲波流量計授權(quán)代理

為半導(dǎo)體、化工、制藥等行業(yè)提供完整選型支持、樣品測試、技術(shù)支持。