在半導(dǎo)體晶圓清洗、芯片制程供水中，超純水（UPW）中的亞微米顆粒會(huì)附著到硅片表面，直接影響光刻和刻蝕良率。常規(guī)液體顆粒計(jì)數(shù)器面向油液和高濃度介質(zhì)設(shè)計(jì)，在低顆粒濃度、低粘度的超純水體系中容易出現(xiàn)流量漂移、小粒徑漏計(jì)。油液顆粒檢測(cè)領(lǐng)域技術(shù)創(chuàng)新者普洛帝面向水質(zhì)與微納米檢測(cè)方向推出 PMT-2 超純水顆粒計(jì)數(shù)器，搭載第八代雙激光窄光檢測(cè)傳感器與雙路精密流量控制，支持在線實(shí)時(shí)與離線抽樣兩種工作模式，為半導(dǎo)體廠超純水系統(tǒng)提供顆粒數(shù)據(jù)支撐。

超純水檢測(cè)的現(xiàn)實(shí)需求

超純水體系的特點(diǎn)是粘度低、顆粒濃度低、粒徑小。行業(yè)普遍參考 ISO 21501-4 對(duì)光阻法液體顆粒計(jì)數(shù)器的校準(zhǔn)要求，污染度代碼仍可對(duì)照 ISO 4406、NAS 1638 輸出。傳統(tǒng)單激光檢測(cè)器在低濃度水樣中，光路雜散光和微小氣泡容易造成誤計(jì)數(shù)；柱塞泵流量波動(dòng)則會(huì)讓單位體積顆粒數(shù)出現(xiàn)偏差。

半導(dǎo)體制造對(duì)超純水的要求是持續(xù)監(jiān)測(cè)終端用水點(diǎn)，而不只是周期性送樣。PMT-2 超純水顆粒計(jì)數(shù)器即按這一現(xiàn)場(chǎng)需求設(shè)計(jì)：在線模式可直接串入超純水循環(huán)管路連續(xù)采樣，離線模式則配合取樣瓶在實(shí)驗(yàn)室做抽檢和比對(duì)，同一臺(tái)設(shè)備覆蓋供水管網(wǎng)監(jiān)控與潔凈室實(shí)驗(yàn)室兩種場(chǎng)景。

核心技術(shù)

PMT-2 核心是普洛帝第八代雙激光窄光顆粒檢測(cè)傳感器。兩組激光光路并行掃描流經(jīng)檢測(cè)區(qū)的水樣，單路光被遮擋時(shí)另一路仍可完成計(jì)數(shù)，降低單光路上氣泡、雜散光帶來(lái)的誤判；窄光設(shè)計(jì)讓粒徑分辨邊界更穩(wěn)定，便于在 0.1 μm 量級(jí)區(qū)分顆粒信號(hào)與噪聲。

流量控制采用雙路結(jié)構(gòu)：精密計(jì)量柱塞泵負(fù)責(zé)定量進(jìn)樣，超精密流量電磁模塊負(fù)責(zé)實(shí)時(shí)微調(diào)流速。兩者形成閉環(huán)，把檢測(cè)過(guò)程中的流量波動(dòng)壓在較小范圍，避免因流速變化引起的顆粒漏計(jì)或重復(fù)計(jì)數(shù)。設(shè)備配備彩色液晶觸摸屏，本地即可完成模式切換、粒徑通道自定義和報(bào)警閾值設(shè)置；數(shù)據(jù)本地大容量存儲(chǔ)，支持 U 盤或網(wǎng)絡(luò)導(dǎo)出，便于質(zhì)量體系留檔。

技術(shù)參數(shù)表

應(yīng)用場(chǎng)景

在半導(dǎo)體制造廠，PMT-2 可部署在超純水分配管網(wǎng)終端、晶圓清洗機(jī)入口和化學(xué)品稀釋配液點(diǎn)，連續(xù)跟蹤供水顆粒數(shù)；當(dāng)某一用水點(diǎn)顆粒濃度上升，可及時(shí)提醒檢查拋光混床、超濾膜和末端過(guò)濾器。在光伏電池片、平板玻璃、硅晶片清洗工序，設(shè)備可用于清洗純水的抽樣比對(duì)。生物醫(yī)藥行業(yè)的制藥純化水、注射用水，以及精密電子制造的清洗劑顆粒監(jiān)控，同樣可使用該設(shè)備完成日常檢測(cè)。設(shè)備接觸流路按低析出材料設(shè)計(jì)，檢測(cè)過(guò)程不對(duì)純水造成二次污染，適合潔凈介質(zhì)長(zhǎng)期連續(xù)使用。

結(jié)尾

PMT-2 超純水顆粒計(jì)數(shù)器圍繞低顆粒、小粒徑、低粘度的純水介質(zhì)做了專項(xiàng)適配，雙激光檢測(cè)與雙路流量控制共同保障低濃度水樣下的數(shù)據(jù)一致性，在線、離線雙模式兼顧管網(wǎng)監(jiān)測(cè)與實(shí)驗(yàn)室抽檢。普洛帝把油液顆粒檢測(cè)積累的光學(xué)與流量控制經(jīng)驗(yàn)延伸到超純水領(lǐng)域，為半導(dǎo)體等高潔凈行業(yè)的水質(zhì)顆粒管控提供了一臺(tái)可落地的檢測(cè)設(shè)備。