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利用具有壓阻效應(yīng)的半導(dǎo)體材料作為敏感元件,用ISO技術(shù)將半導(dǎo)體材料的敏感芯片封裝在不銹鋼波紋膜片的殼體中,在不銹鋼波紋膜片和芯片之間充有硅油。芯片引線穿過殼體引出并采用密封措施,防止硅油向外泄露或外面的壓力介質(zhì)滲入其中,這樣芯片、硅油、殼體和引線組成壓力傳感器。
當傳感器處在壓力介質(zhì)中時,介質(zhì)壓力作用于波紋膜片上使使其中的硅油受壓,硅油將膜片的壓力傳遞給半導(dǎo)體芯片。芯片受壓后使其電阻值發(fā)生變化,電阻信號通過引線引出。不銹鋼波紋膜片殼體受到壓力并保護芯片,因而壓阻式壓力傳感器能在有腐蝕性介質(zhì)中感應(yīng)壓力信號。
壓阻式壓力傳感器一般通過引線接入惠斯通電橋中。平時敏感芯片沒有外加壓力作用,電橋處于平衡狀態(tài)(稱為零位)當傳感器受壓后芯片電阻發(fā)生變化,電橋失去平衡。若給電橋加一個恒定電流或者電壓電源,電橋?qū)⑤敵雠c壓力對應(yīng)的電信號,這樣傳感器的電阻變化通過電橋轉(zhuǎn)換為壓力信號輸出。
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