1.1 影響變送器精度的因素

1.2溫度誤差對(duì)差動(dòng)靜電電容式壓力傳感器而言，由于其屬于結(jié)構(gòu)垂傳感器，加之采用對(duì)稱測(cè)量室結(jié)構(gòu)，故在一般匣用場(chǎng)合溫度變化對(duì)其精度影響較小，可以忽略硅擴(kuò)散式壓力傳感器屬于物性型傳感器，雖然因其高靈敏度及簡(jiǎn)單的結(jié)構(gòu)而獲得了廣泛應(yīng)用并成為壓力傳感器的發(fā)展趨勢(shì)之一，但也存在著溫度特性差的嚴(yán)重缺點(diǎn)，因而在使用中必須消除溫度變化造成的誤差。
溫度對(duì)硅擴(kuò)散式壓力傳感器的影響主要是造成零點(diǎn)溫漂和靈敏度溫漂．零點(diǎn)溫漂是由于傳感器感壓膜片上擴(kuò)散的各電阻條其溫度特性不一致而產(chǎn)生，對(duì)外則表現(xiàn)為變送器的零點(diǎn)輸出隨溫度的變化而變化，靈敏度溫漂則是各電阻條的壓阻系數(shù)隨溫度變化不—致造成，對(duì)外表現(xiàn)為變送器的輸出特性曲線的斜率是溫度的函數(shù)。
2 靜壓誤差靜壓誤差是指在差壓式變送器中靜壓變化對(duì)差壓輸出的影響。
對(duì)于差動(dòng)靜電電容式壓力傳感器，因?yàn)槭莾墒覝y(cè)量結(jié)構(gòu)，則兩測(cè)量室不可能制造得*對(duì)稱， 同時(shí)施加在測(cè)量室上的靜壓必然會(huì)對(duì)其造成影響，—般情況下通過提高制造加工精度來盡量減小靜壓誤差，沒有其它有效的補(bǔ)償辦法，對(duì)硅擴(kuò)散式壓力傳感器有關(guān)研究表明，靜壓主要影響變送器的零點(diǎn)輸出，而對(duì)變送器的靈敏度影響則可忽略不計(jì)。
2．1 溫度和靜壓誤差的解決措施
2．2 硬件補(bǔ)償   硬件補(bǔ)償主要針對(duì)溫度誤差且適用于硅擴(kuò)散壓力傳送器，即通過在傳感器信號(hào)電路上采取措施，比如選用惠斯頓電橋、利用運(yùn)放電路進(jìn)行補(bǔ)償、采用電阻網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行補(bǔ)接等．這種補(bǔ)償方法僅在一定的測(cè)量范圍具有補(bǔ)償效果，不適合智能壓力變送器測(cè)量范圍變動(dòng)很大的應(yīng)用特點(diǎn)；并且其補(bǔ)償效果受補(bǔ)償元件本身溫度特性的影響，因此應(yīng)用上具有很大的局限性。
2．2軟件補(bǔ)償隨著壓力變送器走向智能化，計(jì)算機(jī)技術(shù)和誤差補(bǔ)償技術(shù)的結(jié)合使得在智能壓力變送器中應(yīng)用軟件補(bǔ)償成為可能，軟件補(bǔ)償就是通過實(shí)驗(yàn)方法獲得變送器溫度誤差和靜壓誤差的有關(guān)數(shù)據(jù)，并且通過一定的數(shù)學(xué)手段轉(zhuǎn)換為補(bǔ)償數(shù)據(jù)存入變送器的EPROM中，比那聳起在現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用就可以從EPROM中獲得補(bǔ)償數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)*的補(bǔ)償從而輸出準(zhǔn)確的測(cè)量結(jié)果。
軟件補(bǔ)償方法較之于硬件補(bǔ)償具有更大的靈活性、適用性并能充分發(fā)揮計(jì)算機(jī)的運(yùn)算、
判斷與 拖功能，也能充分利用誤差}懶論的{ 成黔因此智能壓=j了變 發(fā)展
方向是采用軟件方法實(shí)現(xiàn)誤差補(bǔ)償。
軟件補(bǔ)償應(yīng)用了當(dāng)今技術(shù)發(fā)展的熱點(diǎn)之— — 多傳感器技術(shù)．即在變送器的檢測(cè)部分應(yīng)用多個(gè)傳感器分別測(cè)量差壓、靜壓和環(huán)境溫度．這種從不同傳感器融合、集成信息的方法有助于解決有關(guān)珂I境知識(shí)的模糊問題，并可提高測(cè)量精度，這稱之為多傳感器融合海