SF6氣體回收凈化充放裝置由回收系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)、抽真空系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)、氣體貯存系統(tǒng)組成，用于SF6氣體絕緣電器設(shè)備的制造廠，使用運(yùn)行科研等部門, 對各種電器設(shè)備進(jìn)行抽真空，對電器設(shè)備充入SF6氣體，并從使用或試驗(yàn)的電器中回收SF6氣體,同時進(jìn)行凈化處理壓縮貯存到貯罐。為了更好的了解該儀器，在使用前，我們應(yīng)該清楚其工作流程。
SF6氣體回收凈化充放裝置工作流程：

1、SF6氣體的回收  

當(dāng)SF6從一個氣室中抽出時，氣體便自動地流經(jīng)凈化過濾器，通過SF6壓縮機(jī)壓縮冷卻，可以氣態(tài)也可以在一定高壓下以液態(tài)形式儲入SF6貯罐。

（見圖1） 

2、SF6開關(guān)抽真空 使用真空泵把電器開關(guān)中的氣體可以抽除，真空泵的出口通向大氣。（見圖2）

3、充氣 經(jīng)凈化和干燥的SF6從貯罐充回到已抽成真空的氣室中，直到氣室內(nèi)壓力達(dá)到設(shè)定的工作壓力。上述工作分兩個步驟進(jìn)行： 

1）、借助SF6貯罐壓力使氣體流向SF6開關(guān)，直至達(dá)到預(yù)定的充氣壓力。（見圖3）

2）、當(dāng)SF6貯罐壓力與SF6開關(guān)壓力平衡時，再采用壓縮機(jī)進(jìn)行加壓充氣，直至達(dá)到預(yù)定充氣壓力。（見圖4）