探針臺操作說明目錄

1、探針臺的功能  4
2、探針臺硬件結(jié)構(gòu)  5
3、各部件的具體使用方法  6
4、常見故障維護與支持 16

   
1、探針臺的功能
（1）集成電路失效分析
（2）晶圓可靠性認證
（3）元器件特性量測
（4）塑性過程測試(材料特性分析)
（5）制程監(jiān)控
（6）IC封裝階段打線品質(zhì)測試
（7）液晶面板的特性測試
（8）印刷線路板的電性測試
（9）低噪音/低電流測試
（10）微波量測(高頻)
（11）太陽能電池領(lǐng)域檢測分析
（12）發(fā)光二極管領(lǐng)域檢測分析
 (13) 納米器件結(jié)構(gòu)測試

  
2、探針臺硬件結(jié)構(gòu)
（1）完整探針臺系統(tǒng)
  

                                                                              3.各部件使用方法
●探針臺主要操作說明
3.1， 移動顯微鏡前后方向 : 松開門型橫梁左下側(cè)松緊固旋鈕，拉動旋鈕前后移動

3.2微鏡左右方向 : 松開門型橫梁顯微鏡移動緊固旋鈕，拉動顯微鏡移動桿左右移動

3.3 
顯微鏡焦距調(diào)整旋鈕(粗調(diào)/細調(diào))

3.4 顯微鏡光源亮度調(diào)整(微調(diào))

3.4，調(diào)整針座載臺位置。松開針座載臺緊固螺絲，把載臺左右移動到合適位置后固定

                      
 
3.5 針座(磁性反轉(zhuǎn)底座)結(jié)構(gòu)說明

● 防震系統(tǒng)
調(diào)整防震桌四個腳座高度,使用水平儀測量是否在水平位置

3調(diào)整防震氣囊壓力為40~60psi

防震氣囊壓力表40~60psi
                      

3.調(diào)整防震氣囊水平調(diào)整螺栓往上調(diào)整,使防震桌防震氣囊高度大于支撐stage軟墊2mm,使用水平儀測量是否在水平位置

Pic23/圖23

                     3. 將顯微鏡倍率切換到大,觀察影像是否會震動(以腳踏地板產(chǎn)生震動測試防震性能是否良好)
3.若持續(xù)有震動情形,請檢查周圍是否有震源產(chǎn)生或者相關(guān)機構(gòu)有干擾及防震氣囊壓力過大

3. 所有設(shè)備務(wù)必接地良好,避免漏電及靜電干擾測試結(jié)果.

● 探針臺操作步驟：
1.將測試產(chǎn)品放入探針臺的臺盤上；
2. 打開顯微鏡光源燈（LED或光源機）；
3.打開背光面板光源開關(guān)；
4.調(diào)整Z axis高度對焦，使能清楚看到樣品圖象為OK；
5.調(diào)整目鏡和Zoom倍率，使影像清晰；

●點針操作步驟：
1.
通過移動鏡頭組部分找到Sample 要下針的地方；
2. 調(diào)整針座位置，將三軸歸零；
3. 調(diào)整針座仰角機構(gòu)，使針尖位于顯微鏡射出光斑*上方1-2mm處；
4. 利用低倍鏡頭找到針尖,將針尖移至視野*位置并通過調(diào)整焦距使針尖達到清晰；
6.切換至高倍鏡頭，找到針尖；
7.利用針座的X-Y-Z 軸微調(diào)下針；
8.量測完畢后，逆時針旋轉(zhuǎn)針座的仰角機構(gòu)的旋鈕快速將針往上抬起，針尖即可移開Sample；移動針座平臺或者顯微鏡相關(guān)移動機構(gòu)時,請注意小心避免與鏡頭或被測品碰撞

9. 移開針座，取出Sample.

10.關(guān)閉背光面板光源和光源燈等電源.

PS：●兩種常見顯微鏡結(jié)構(gòu)介紹：
A.體視顯微鏡配置：
Eye piece目鏡:高眼點超廣角目鏡一對.

高清晰度、高景深的立體圖像，變倍手輪雙側(cè)水平設(shè)置，變倍靈活舒適。

 升降機構(gòu)： 燕尾導軌與齒輪齒條組合構(gòu)成調(diào)焦機構(gòu).

上光源： 3瓦LED燈，亮度可調(diào)，角度可調(diào).

眼罩：方便觀察的護眼罩一對。

CCD Mount攝像組件:

0.65X CCD Mount 攝像連接筒組 C&CS接口

                0.35X CCD Mount 攝像連接筒組 C&CS接口

B.  金相顯微鏡：
采用全新的一體化設(shè)計，操作簡單、方便，性能優(yōu)異、可靠，
功能齊全，可廣泛應(yīng)用于冶金、半導體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

符合人體工程學設(shè)計的顯微鏡頭部：

PSM-1000E雙目觀察頭可以在3 -30°轉(zhuǎn)動，調(diào)整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。

管鏡：

PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進行了優(yōu)化，1X NIR對532nm和1064nm波長進行了優(yōu)化，當使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。

光路切換連桿：

通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對光路進行切換。當轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時從攝像接口上入射的激光的進入光路，提高了激光效率；當轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
偏光觀察:

主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進行偏光觀察。
                                                                                    調(diào)焦機構(gòu)：

調(diào)焦機構(gòu)轉(zhuǎn)動舒適，工作可靠。調(diào)焦機構(gòu)大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
                       
物鏡轉(zhuǎn)換器：

物鏡（選配件）：

物鏡采用長工作距離的無應(yīng)力平場復消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。

                   
攝像系統(tǒng)：

根據(jù)所使用的CCD攝像機的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視或監(jiān)視器上同步觀察。

Lighting system 照明系統(tǒng)：