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1、檢查顯示儀:可以將顯示儀單獨(dú)檢測,將設(shè)定及流量檢測短接,調(diào)節(jié)設(shè)定旋鈕觀察是否跳動。
2、檢查流量計: 若能排除顯示儀問題則很可能是實(shí)際流量控制不穩(wěn)或者流量控制器問題。
需要排除周圍是否存在干擾:
1、可能為地線干擾,檢查接地系統(tǒng),注意一點(diǎn)接地;
2、可能為氣源壓強(qiáng)太低或不穩(wěn),需要提高氣源氣壓,穩(wěn)定氣源壓強(qiáng)。
3、可能為空間干擾,可采用適當(dāng)屏蔽,遠(yuǎn)離干擾源,選用屏蔽線的方法。
4、可能為氣體性質(zhì)不同,使用氮?dú)鈽?biāo)定同分子量較重的氣體時也可能出現(xiàn)控制不穩(wěn)定現(xiàn)象。
5、可能為污染,如氣源有粉塵,容易液化等應(yīng)在通道前加裝過濾器或
6、可能為氣源內(nèi)阻過大,需要降低氣源內(nèi)阻(大流量時要注意開大閥門,加粗管道,以至并聯(lián)氣瓶,提高氣源供氣能力)。者適當(dāng)加溫。若使用硅烷等特殊氣體,應(yīng)注意管路的密封性和氣源干燥。
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