單晶硅壓力變送器其工作原理為外界壓差傳遞到內(nèi)部的單晶硅全動(dòng)態(tài)的壓阻效應(yīng)，壓力的作用下產(chǎn)生一個(gè)跟隨壓力變化的電壓信號(hào)輸出，將這個(gè)電壓信號(hào)通過(guò)電子電路收集、放大和軟件補(bǔ)償處理后，就得到壓力信號(hào)的線性輸出。

單晶硅壓力變送器的輸出靈敏性高、信號(hào)量大、回差極小，并且電路設(shè)計(jì)較為簡(jiǎn)潔可靠，所以較多變送器制造廠商優(yōu)先采用此方案進(jìn)行變送器的研發(fā)和制造。但是較之金屬電容式傳感器和單晶硅諧振式傳感器，單晶硅壓力變送器的應(yīng)用具有較為特殊的工藝要求。

主要表現(xiàn)在硅芯片的無(wú)應(yīng)力封裝技術(shù)和硅薄膜的單向過(guò)載保護(hù)技術(shù)方面。單晶硅壓力變送器主要的優(yōu)勢(shì)體現(xiàn)在溫度和靜壓補(bǔ)償環(huán)節(jié)中，即：雙諧振回路的原始差動(dòng)信號(hào)輸出，而此差動(dòng)信號(hào)不被溫度和靜壓的影響，因此對(duì)于后期的變送器的溫度補(bǔ)償和靜壓補(bǔ)償?shù)裙ば颦h(huán)節(jié)操作較為簡(jiǎn)便。

單晶硅壓力變送器的性能特點(diǎn)：
1、高純度單晶硅材質(zhì)，有效提高產(chǎn)品壽命及長(zhǎng)期穩(wěn)定性；
2、電阻溫度特性互補(bǔ)，提高芯片抗*力；
3、LCD帶背光顯示數(shù)字表頭可以顯示壓力、百分比和電流及0~模擬指示；
4、通過(guò)按鍵組合操作能實(shí)現(xiàn)調(diào)零和調(diào)滿功能，以及數(shù)據(jù)恢復(fù)功能，方便了現(xiàn)場(chǎng)調(diào)試；
5、信號(hào)轉(zhuǎn)換、信號(hào)采集與處理及電流輸出控制采用了一體化集成電路（ASICS）使智能變送器具有高穩(wěn)定、高可靠、高抗震等特點(diǎn)，并且，單晶硅壓力變送器具有良好的互換性。