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鈍化產(chǎn)品CVD涂層特點及優(yōu)勢分析

來源:北京明尼克分析儀器設備中心   2021年03月26日 13:25  

鈍化技術是以材料表面涂覆CVD涂層來實現(xiàn)的,CVD是一種通過化學氣相沉積的方法應用于材料表面的技術。

 

 

CVD(化學氣相沉積)是一種將揮發(fā)性前體(通常是在真空下)注入腔體內(nèi)的反應過程,腔室加熱到反應溫度,使前體氣體發(fā)生反應或分解生成所需的涂層并與材料表面結合。隨著時間推移,涂覆材料建立在表面上并在暴露部分的表面形成涂層。

例如,如果想把硅附著在材料表面,需要使用三氯硅烷(SiHCl3)前體,當SiHCl3在腔室加熱時,分解和涂層反應如下:

SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl

硅將結合到任何暴露的表面(內(nèi)部和外部),而氯氣和鹽酸氣體將從腔室排放并根據(jù)適當?shù)姆ㄒ?guī)要求進行清除。

 

 

CVD涂層系統(tǒng)中使用的材料從硅化合物到碳化合物,到氟碳或有機氟,以及類似氮化鈦這樣的氮化物。一些材料如硅,可以通過摻雜表面(改變或添加額外的化學物質(zhì))來進一步增強涂層的功能,以達到特定的性能目標。

化學氣相沉積不同于物理氣相沉積(PVD)等其他常見的涂層應用方法,與化學氣相沉積相比,大多數(shù)常見的涂層噴涂工藝會導致視線外盲區(qū)不均勻的涂覆存在,化學氣相沉積涂層理論上可以應用于涂層氣體能進入的任何區(qū)域,下圖形象表示出兩種涂覆的區(qū)別。

 

SilcoTek®公司CVD涂層工藝的特點:

·在高溫下應用以促進反應;

·涂裝前必須清除零件表面的污染物;

·涂層氣體將覆蓋零件的所有區(qū)域,包括螺紋、盲孔和內(nèi)部表面;

·涂層在反應過程中粘結到表面,與典型的PVD涂層相比,創(chuàng)造了*的附著力。

SilcoTek®公司CVD涂層的優(yōu)勢:

·可廣泛應用于各種基材,包括金屬和金屬合金、陶瓷,玻璃;

·可噴涂精密表面和復雜表面,包括密封區(qū)域和內(nèi)部表面;

·能承受低溫、高溫溫度變化;

·持久的涂層與基材結合意味著涂層在高應力環(huán)境中保持結合,即使基材表面彎曲也能適應。 

北京明尼克分析儀器設備中心全面代理美國SilcoTek®公司鈍化產(chǎn)品,長年備有鈍化產(chǎn)品現(xiàn)貨,同時承接硅鈍化表面處理技術定制服務,在硅表面鈍化處理領域為您提供全方面支持與服務。

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