真空鍍膜行業(yè)氬氣流量大小如何控制

來源：上海華械自動化設(shè)備有限公司 2021年12月17日 11:14

熱式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），里面有個溫度傳感器和速度傳感器，流量大小通過高性能比例電磁閥，通過0-5V電壓調(diào)節(jié)閥芯開度大小或頻率來精確控制介質(zhì)的流量大小.

通過真空鍍膜行業(yè)的一些客戶了解到，一般使用的都是微小流量的MFC，集中在100SCCM/MIN 500SCCM/MIN 1000SCCM/MIN

進(jìn)口壓力：1Mpa 正常工作壓力：0.5Mpa MFC不受氣體的溫度和壓力影響它的精度和重復(fù)性精度，響應(yīng)時間快1秒達(dá)到設(shè)定值

一般MFC都是以氮?dú)鈽?biāo)定的，如客戶需要的是測量Ar流量，出廠時，廠家就按氬氣標(biāo)定好，也可提供氬氣和氮?dú)庵g換算的比列系數(shù)

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