MEMS（即微電子機(jī)械系統(tǒng)）有時(shí)被稱(chēng)為微機(jī)械，由機(jī)械和電氣組件組成，它們作為一個(gè)系統(tǒng)共同工作，以實(shí)現(xiàn)智能手機(jī)、噴墨打印機(jī)、醫(yī)療設(shè)備、健身器械、家庭自動(dòng)化和汽車(chē)所需的功能，列出一些商業(yè)用途。MEMS是通過(guò)一種稱(chēng)為微加工的工藝制造的，MEMS的尺寸可以從小于一微米（比人頭發(fā)的寬度?。┑綆缀撩撞坏?。

這只是MEMS的許多商業(yè)和工業(yè)應(yīng)用中的一小部分

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）使智能手機(jī)屏幕能夠從橫向到縱向再向后旋轉(zhuǎn)，它們可以使手機(jī)充當(dāng)方向盤(pán)，讓玩家在電子游戲中“駕駛”繞過(guò)障礙物。得益于MEMS的優(yōu)點(diǎn)，智能手機(jī)被用作導(dǎo)航、數(shù)字錢(qián)包，并通過(guò)使用指紋提供安全的方式登錄手機(jī)應(yīng)用程序。

醫(yī)療行業(yè)在壓力傳感器應(yīng)用中使用MEMS，包括一次性、分娩期間測(cè)量宮內(nèi)壓力以及使用監(jiān)測(cè)患者的呼吸。

可穿戴式健身器械利用MEMS（含加速度計(jì)和陀螺儀）結(jié)合定位系統(tǒng)（GPS）計(jì)算用戶(hù)的步幅和速度，并顯示用戶(hù)的路線(xiàn)。

房主們享受著MEMS技術(shù)提供的調(diào)節(jié)空氣質(zhì)量和溫度、燈光和安全系統(tǒng)的便利。MEMS傳感器可以編程，根據(jù)讀取的結(jié)果調(diào)整空氣循環(huán)和恒溫器。家庭安全系統(tǒng)使用基于MEMS的運(yùn)動(dòng)傳感器，在強(qiáng)行進(jìn)入導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)變化或異常振動(dòng)時(shí)發(fā)出警報(bào)。

汽車(chē)制造商將MEMS技術(shù)應(yīng)用于許多應(yīng)用中，包括評(píng)估車(chē)輛碰撞以進(jìn)行碰撞檢測(cè)和安全氣囊展開(kāi)，以及輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、車(chē)輛動(dòng)態(tài)控制（幫助駕駛員在車(chē)輛開(kāi)始打滑時(shí)重新獲得控制）、語(yǔ)音系統(tǒng)，還有車(chē)內(nèi)的氣候控制。

MEMS制造中的氮使用

MEMS器件的制造是在潔凈室（密封、全自動(dòng)環(huán)境）內(nèi)的工藝室（低壓、真空、溫控環(huán)境）中進(jìn)行的。所有工藝/真空室、機(jī)械和潔凈室必須無(wú)污染。生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生或使用的灰塵、氣載微粒、氣溶膠、化學(xué)蒸汽和殘余氣體必須從環(huán)境中除去，以保護(hù)所制造設(shè)備的完整性。

氮?dú)猓∟2）是一種無(wú)色無(wú)味的惰性氣體，是創(chuàng)造和維持MEMS制造所需無(wú)菌環(huán)境的關(guān)鍵成分。MEMS制造廠(chǎng)通常使用大量氮?dú)鈱?duì)制造環(huán)境進(jìn)行消毒，除去腔室和氣體管線(xiàn)中的殘余氣體，并在工藝步驟之間除去工藝腔室中的雜質(zhì)。

氧氣分析儀保護(hù)MEMS制造的完整性

制造員工必須持續(xù)監(jiān)控工藝室和潔凈室中的氮?dú)馑?，以保護(hù)這些區(qū)域不受雜質(zhì)的影響，這些雜質(zhì)可能會(huì)損害正在生產(chǎn)的MEMS的質(zhì)量和可靠性，并防止氮?dú)庑孤瑥亩鴮?dǎo)致無(wú)菌環(huán)境失效，同樣，也會(huì)損害MEMS設(shè)備的完整性。

利用高質(zhì)量的氧氣分析儀，MEMS制造人員可以測(cè)量工作區(qū)域的氮水平。氧氣分析儀傳感器應(yīng)置于工藝/真空室和潔凈室內(nèi)，以測(cè)量和控制氧氣水平。上海高傳電子代理的Ntron 氧氣分析儀Microx-231是一款量程為1PPM-25%vol的氧化鋯氧氣分析儀，壽命長(zhǎng)達(dá)5年，精度為測(cè)量值的2%。典型應(yīng)用：手套箱吹掃核泄漏檢測(cè)，3D金屬打印，波峰焊，氣體分離，惰性烘箱等場(chǎng)合。

同時(shí)，在制造設(shè)備工作廠(chǎng)區(qū)，實(shí)踐要求在存在氣體泄漏風(fēng)險(xiǎn)的任何地方安裝缺氧監(jiān)控系統(tǒng)。因此，OXY-LC-A25-455氧化鋯氧氣傳感器特別適合在這樣的環(huán)境中使用，長(zhǎng)達(dá)10年的使用壽命，響應(yīng)速度小于4秒，儲(chǔ)存氮?dú)獾娜魏蔚胤?，以及使用氮?dú)獾乃袇^(qū)域都可以安裝這樣的氧氣傳感器測(cè)量系統(tǒng)，便于安全監(jiān)控。