氣體流量控制器">氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制；氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復(fù)性好。

1、結(jié)構(gòu)

   MFM由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器通道機殼等部件組成，只能對氣體質(zhì)量流量進行測量；在MFM基礎(chǔ)上加上調(diào)節(jié)閥構(gòu)成MFC，既可以對氣體質(zhì)量流量進行測量，也能對流量進行控制。

2、工作原理

   氣流進入進氣管道街頭后大部分流量流過分流器通道，其中很小一部分進入傳感器內(nèi)部的毛細(xì)鋼管。由于分流器通道的特殊結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)這兩部分氣體流量成正比例關(guān)系。傳感器經(jīng)過預(yù)熱加溫，里面的溫度高于進入的氣流溫度，此時通過毛細(xì)鋼管傳熱和溫差量熱法原理測量這一小部分氣體的質(zhì)量流量。用這種辦法測出的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響，將傳感器測得的流量檢測信號輸入電路板，經(jīng)過放大后輸出，就完成了MFM的功能。將電路板中加入PID閉環(huán)自動控制功能，把傳感器測得的流量檢測信號與用戶給出的設(shè)定信號進行比較，以此為基礎(chǔ)控制調(diào)節(jié)閥，使得流量檢測信號與設(shè)定信號相等，這樣便實現(xiàn)了MFC的功能。

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