無錫愛拓利電子科技有限公司帶您具體介紹氣體流量控制器的工作原理和用處特色

氣體流量控制器, 不光具有氣體流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)操控氣體流量，即用戶可根據(jù)需求進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即便體系壓力有動(dòng)搖或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。簡單地說,氣體流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流設(shè)備, 是一個(gè)能夠手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)聯(lián)接自動(dòng)操控的氣體穩(wěn)流設(shè)備。

氣體流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)理閥門和擴(kuò)大操控器等部分組成。氣體流量傳感器選用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理丈量氣體的氣體流量。將傳感器加熱電橋測得的流量信號(hào)送入擴(kuò)大器擴(kuò)大, 擴(kuò)大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)擴(kuò)大后去操控調(diào)理閥門，閉環(huán)操控流過通道的流量使之與設(shè)定的流量持平。分流器決定主通道的流量。與氣體流量控制器配套的流量顯現(xiàn)儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)化和三位閥控開關(guān)等。

用 途

氣體流量控制器用于對(duì)氣體的氣體流量進(jìn)行精細(xì)丈量和操控。它在多個(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如分散、氧化、分子束外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反響設(shè)備、混氣配氣體系、毛細(xì)管丈量、氣相色譜儀及其他各種類型的分析儀器。

特 點(diǎn)

氣體流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、呼應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、穩(wěn)定牢靠、工作壓力規(guī)模寬（能夠運(yùn)用在高壓及真空體系）等特色。操作運(yùn)用方便，對(duì)裝置位置不靈敏可任意位置裝置。配合流量顯現(xiàn)儀或氣體流量控制器顯現(xiàn)儀對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行準(zhǔn)確丈量和操控運(yùn)用，也可直接同計(jì)算機(jī)連接，十分方便的實(shí)現(xiàn)自動(dòng)操控。

5. 氣體流量控制器的首要優(yōu)點(diǎn)是什么？

(1) 流量的丈量和操控不因溫度或壓力的動(dòng)搖而失準(zhǔn)。

(2) 丈量操控的自動(dòng)化

(3) 準(zhǔn)確地定量操控流量

(4) 適用規(guī)模寬

上述就是無錫愛拓利電子科技有限公司為您具體介紹的氣體流量控制器的工作原理和用處特色的全部內(nèi)容，如有任何疑問，歡迎隨時(shí)咨詢。