高精度動態(tài)配氣系統(tǒng)

MR系列高精度動態(tài)配氣系統(tǒng)是實現(xiàn)動態(tài)氣體配氣的設(shè)備。氣體配氣部分采用進口高精度質(zhì)量流量控制器控制多路氣體輸出不同比例的流量，從而動態(tài)的實現(xiàn)各種氣體濃度的配置。該儀器可用于氣體分析儀的線性、準確度、重復(fù)性等多種技術(shù)指標的測試，是檢定、維護和維修氣體分析儀器的測試工具以及固定濃度氣體的發(fā)生裝置。適用于工廠、科研、實驗室等單位使用的氣體分析儀校準、測試用標準氣樣品的制備等。

1.1 功能特點

支持進行氣體混合配氣；

流量控制采用閉環(huán)模糊控制技術(shù)，響應(yīng)速度快，流量控制準確；

零氣壓力和鋼瓶氣壓力可實時監(jiān)測，保證供氣壓力滿足儀器要求；

大屏幕液晶、中文顯示，操作簡單方便；

多路標氣輸入接口，免除更換多種鋼瓶氣的繁瑣工作；

1.2 主要參數(shù)

流量準確度：±1%F.S；

流量線性度：±0.5%F.S；

流量重復(fù)精度：±0.2%F.S；

稀釋氣體流量范圍：0～5SLM；0～20SCCM； 0～100SCCM 可選

稀釋比：200：1；

配比：1000:1；

輸入壓力：100kPa～500kPa；

使用環(huán)境溫度：5℃～45℃，相對濕度：<80%RH；

設(shè)備耐壓：<1Mpa；

工作壓差范圍：0.05MPa～0.3MPa；

工作電源：AC220，50±0.5Hz。

使用氣體：

、光氣等原料氣體濃度應(yīng)小于1000ppm.

一、 發(fā)生裝置組成

MR-DF2由氣體配量裝置，嵌入式WINCE系統(tǒng)以及其他輔助件組成（見附件一）。

2.1 氣體配量裝置

MR-DF2負責(zé)氣體配量功能。它主要由：質(zhì)量流量計，電磁兩通閥，電磁三通閥、混氣室、排空閥等部件組成。