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智測(cè)電子-TC-Wafer晶圓溫度傳感器 熱電偶晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

來(lái)源:上海智與懋檢測(cè)儀器設(shè)備有限公司   2023年09月11日 09:57  

智測(cè)電子-TC-Wafer晶圓溫度傳感器、熱電偶晶圓測(cè)溫系統(tǒng)

      TC-Wafer晶圓溫度傳感器是將高精度溫度傳感器鑲嵌在晶圓表面,對(duì)晶圓表面的溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量。通過(guò)晶圓的測(cè)溫點(diǎn)了解特定位置晶圓的真實(shí)溫度,以及晶圓整體的溫度分布,同還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過(guò)程中晶圓發(fā)生的溫度變化,獲得升溫、降溫以及恒溫過(guò)程期間的溫度溫度數(shù)據(jù),從而了解半導(dǎo)體設(shè)備的溫度均勻度。

智測(cè)電子的高精度晶圓熱電偶溫度傳感器是半導(dǎo)體制造廠 Fab、PVD/CVD 部門(mén)、RTP 部門(mén)等行業(yè)用戶(hù)的***。

作為一家專(zhuān)業(yè)的傳感器生產(chǎn)廠家,智測(cè)電子不僅擁有全套傳感器生產(chǎn)、加工與檢測(cè)設(shè)備,還能為用戶(hù)提供定制化的解決方案。

其產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)在于軟件功能優(yōu)異,能夠?qū)崿F(xiàn)高精度多通道數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、趨勢(shì)繪圖和數(shù)據(jù)導(dǎo)出等功能。智測(cè)電子生產(chǎn)研發(fā)的TC-Wafer晶圓溫度傳感器,其溫度范圍廣泛,智測(cè)電子的產(chǎn)品設(shè)計(jì)考慮到了用戶(hù)的實(shí)際需求,傳感器引線可定制,且采用了硅基膠粘劑和焊接技術(shù),使其具有更好的性能和可靠性。

總之,智測(cè)電子的高精度溫度傳感器不僅在技術(shù)上具備優(yōu)勢(shì),而且在服務(wù)方面也能夠?yàn)橛脩?hù)提供專(zhuān)業(yè)的解決方案。無(wú)論是在半導(dǎo)體裝備、航空航天、智能制造、高校實(shí)驗(yàn)室、計(jì)**所、生物技術(shù)等行業(yè),智測(cè)電子都能夠?yàn)橛脩?hù)提供高品質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù),滿(mǎn)足用戶(hù)對(duì)高精度測(cè)溫的需求。


TC-WAFER晶圓測(cè)溫系統(tǒng)應(yīng)用于高低溫晶圓探針臺(tái),測(cè)量精度可達(dá)mk級(jí)別,可以多區(qū)測(cè)量晶圓特定位置的溫度真實(shí)值,也可以精準(zhǔn)描繪晶圓整體的溫度分布情況,還可以監(jiān)控半導(dǎo)體設(shè)備控溫過(guò)程中晶圓發(fā)生的溫度變化,了解升溫、降溫以及恒溫過(guò)程中設(shè)備的有效性。

智測(cè)電子還提供整個(gè)實(shí)驗(yàn)室過(guò)程的有線溫度計(jì)量,保證溫度傳感器的長(zhǎng)期測(cè)量精度。



智測(cè)電子-TC-Wafer晶圓溫度傳感器、熱電偶晶圓測(cè)溫系統(tǒng)


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