白光干涉儀

白光干涉儀的白光干涉法是一種利用干涉原理測量光程差和測量有關物理量的光學儀器。若兩個相干光之間的光程差異改變，干涉條紋的運動將十分敏感，相干光的光程變化是由于相干光經(jīng)過的幾何距離或介質折射率的變化而引起的。其它物理量可以通過改變干涉條紋的運動來測量。每條條紋運動的間隔都會改變一個波長(~10-7米)，因此干涉儀用光程差測量單位來測量光程差，其測量精度是其它測量方法的。

主要功能是：觀測、分析和應用白光干涉。

白光干涉儀特點：

1.無接觸測量，避免物體損傷。

2.三維表面測量：表面高度在1到200微米之間。

3.多角度鏡頭：快速切換物鏡。

4.納米分辨率：垂直分辨率可以達到0.1納米。

5.高速度數(shù)字信號處理器：測量結果只需要幾秒。

6.掃描器：閉環(huán)控制系統(tǒng)。

7：氣動裝置，抗震，耐壓。

8.測量軟件：基于Windows操作系統(tǒng)的用戶界面，操作簡便、快捷。

白光干涉儀應用范圍：

1.首先是半導體芯片。

2.LCD產(chǎn)品(CS、LGP、BIU)

3.微電子機械系統(tǒng)

4.是纖維產(chǎn)品。

5.數(shù)據(jù)儲存(HDD,DVD,CD)

6.研究數(shù)據(jù)。

7.表面精密加工。

8.生物醫(yī)學工程。